加熱装置・炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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小型塩素炉｜MOCVD治具・石英ボートの付着物除去に対応

GaN・AlN・Si系付着物をCl2/HClで塩化揮発し、治具をドライ洗浄

工業炉

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小型塩素炉｜金属塩化物の選択揮発による不純物分離

Cl2・HClで金属不純物を塩化物化し、母材を残して選択分離

工業炉

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小型ハロゲン対応炉｜F系・Cl系ガスを用いた高温プロセス評価

腐食性ガスによる炉材劣化・リーク不安を抑え、ハロゲン雰囲気試験を安全に検討

電気炉

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マルチ雰囲気炉｜セラミックス焼結・緻密化条件の再現性向上

露点・酸素濃度を管理し、セラミックス焼結・緻密化条件を再現性よく評価

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜化学反応・反応性ガス処理・排ガス評価向け

反応性ガス・排ガス処理まで含め、化学反応プロセスの条件検討をサポート

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜環境浄化材料の焼成・排ガス評価向け

真空・Air・NH3などの雰囲気制御で、環境浄化材料の焼成と排ガス評価をサポート

工業炉

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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け

高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート

工業炉

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分析用サンプル前処理向けメタル炉｜高真空・高純度雰囲気対応

高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート

工業炉

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研究開発向けメタル炉｜真空・還元雰囲気・高温熱処理対応

真空・還元雰囲気で、材料開発や高温熱処理をサポート

工業炉

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メタル炉｜光学部品の封着・ろう付け・高純度雰囲気焼成向け

高純度雰囲気で、光学部品の封着・ろう付け・熱処理をサポート

工業炉

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航空宇宙向け耐熱部品用カーボン炉｜最高3000℃・真空雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、航空宇宙向け耐熱部品の開発・製造をサポート

工業炉

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新材料開発用カーボン炉｜高温焼成・炭化・黒鉛化・雰囲気制御対応

最高3000℃の高温焼成と雰囲気制御で、新材料開発・試作評価をサポート

工業炉

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セラミックス高密度化カーボン炉｜最高3000℃・不活性雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、セラミックスの高密度化・焼結をサポート

工業炉

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カーボン炉｜炭化・黒鉛化・高温焼成向け最高3000℃対応

最高3000℃の高温焼成に対応。炭化・黒鉛化・脱脂処理を低酸素雰囲気でサポート

工業炉

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静電チャック・ESC向け雰囲気焼成炉