半導体・ICの製品一覧
- 分類：半導体・IC
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- オシロスコープ
200mm 300mm にて対応可能！ 対応膜種はご希望によりご相談ください。
- その他半導体
- ウエハー
成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案＆製造致します。
- その他半導体
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アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 【対応可能膜種】 Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、 PE-TEOS、HDP、HARP oxide、Poly-Si、 Th-Ox、ACL、SiC、SiON、Photo resist、Polyimide ■メタル系 Ru、Co、CoEP、Pt、Au、W