容積型ポンプの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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プランジャー式定量ポンプ AX-P 『高圧微量注入を高精度に』

Max．35.0MPaの高圧微量注入が可能

その他ポンプ
容積型ポンプ

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電磁定量ポンプ EH-E 『幅広い吐出量域をカバー』

340～1250ml/min、幅広い吐出量域をカバーする大型電磁定量ポンプシリーズ

その他ポンプ
容積型ポンプ

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電磁定量ポンプ EHN-NAE 『ガス化しやすい薬液の注入に』

ガス化しやすい薬液の注入に最適

その他ポンプ
容積型ポンプ

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直動ダイヤフラム式定量ポンプ LK-TC 『強酸移送に最適』

接液部の主材質にフッ素樹脂を採用、強酸移送に最適であらゆる分野の薬液注入プロセスに活躍します。

その他ポンプ
容積型ポンプ

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ケミカルギヤポンプ GM-J 『次亜塩素酸ナトリウム移送専用』

ガスロックによる注入不良を解消次亜塩素酸ナトリウム微少流量移送専用

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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気液混合移送用ダイヤフラム式エアーポンプ APN-W

軽量・コンパクトボディで気液移送が可能

容積型ポンプ
その他ポンプ

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ベローズ式エアーポンプ BA 『優れた耐熱性・耐食性』

耐食性・耐熱性重視のベローズ式エアーポンプ

容積型ポンプ
その他ポンプ

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高圧プランジャーポンプ RO/MP 『昇圧ポンプに最適』

逆浸透装置、海水淡水化装置や洗浄装置などの昇圧ポンプとして最適。

その他ポンプ
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エアーポンプ APN-S041

コンパクト設計・低振動・低騒音・装置組込みに最適なコンパクトバキュームポンプ。

容積型ポンプ
その他ポンプ

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薬液補充ポンプ CFD 『半導体プロセスの強酸・強アルカリ補充』

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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エアー駆動ディスペンサー SB 『レジスト塗布工程に最適』

半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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電磁定量ポンプ EWN-R-H2 『高圧ラインへの定量注入に』

最高吐出圧力2.0MPa。ボイラー用途などの高圧ラインへの定量注入に最適です。

その他ポンプ
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ディスペンスポンプ VMP 『高圧吐出で完全自給式』

信頼のハイセラポンプを自動制御。二元制御式駆動アクチュエータを組み合わせたディスペンスポンプ

容積型ポンプ
2次電池・バッテリー
特殊ポンプ

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小型液体ダイヤフラムポンプ HSR-03/06/09/15

流量可変機能・駆動回路内臓モータを採用、コンパクトな高圧液体移送ダイヤフラムポンプ

容積型ポンプ
特殊ポンプ

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【出展情報】JASIS 2025　最先端科学・分析システム&ソリューション展

2025年9月3日より幕張メッセ国際展示場にて開催される「JASIS 2025」に出展いたします。

リニアポンプ LR 『リニアドライブ方式で無脈動による連続送液』