半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズは、半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応できます。 【特長】 ●フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 ●サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止できます。 ●シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。 ●接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。 ●システム組込みに最適な形状選択が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【概略仕様】 ●最大吐出量：100 mL/stroke ●使用液温度範囲：15〜25℃ ●供給エアー圧力範囲：0.15〜0.5MPa ●最大エアー消費量：1.0 NL/stroke ●主要材質：SUS304/PTFE、PFA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
●半導体分野：レジスト塗布工程
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企業情報
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。