スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

酸素や水分を排除したい研究製膜環境!多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します!

  • スパッタリング装置

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基板寸法は最大3インチで3枚収納可能!加熱機構・逆スパッタ機構を備えています!

  • スパッタリング装置

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トランスファーロッドにより、各室間を搬送!大気解放することなく連続成膜可能!

  • 蒸着装置
  • スパッタリング装置

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単品試作から用途に合わせて製作可能!「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ!

  • スパッタリング装置
  • その他機械要素

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φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します!

  • プラズマ表面処理装置
  • スパッタリング装置
  • 分析機器・装置

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2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

  • スパッタリング装置

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 独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成(水素含有量1%以下)優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

  • スパッタリング装置
  • その他工作機械
  • プラズマ表面処理装置

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スパッタリングターゲット材について

  • スパッタリング装置

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低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

  • スパッタリング装置
  • その他半導体製造装置

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ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

  • スパッタリング装置

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成膜装置で使用されるバッキングプレートです。

  • スパッタリング装置
  • その他半導体製造装置

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酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能!熱膨張による割れも抑えたスパッタリングターゲットです。

  • スパッタリング装置

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スパッタ装置

  • スパッタリング装置

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硫化物対応も可 薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット~成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。

  • プラズマ表面処理装置
  • スパッタリング装置

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各種材料、基材の加工実績が豊富!基材×薄膜=光学調整・導電・抗菌/ウイルス

  • スパッタリング装置
  • 加工受託
  • 表面処理受託サービス

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