スパッタリング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

ほぼ理想的な混合物が作成可能！直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

• スパッタリング装置

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

• 加工受託
• ウエハー
• スパッタリング装置

アルミ切削／アルミ加工／アルミ機械加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• コーター

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉

500～1200ｍｍサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

• ステッパー
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁物等の成膜が可能です

• スパッタリング装置

プランゼーの高機能材料（タングステン・モリブデン）製品がオンラインで購入できます。板、棒、ワイヤー、蒸着部品、ヒートシンクなど

• 非鉄金属
• 工業炉
• スパッタリング装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

半導体業界や太陽電池業界(PV)向けに、ポリシリコーンは原材料として使用。素材：ニッケル合金 プロセス:フィルター

• スパッタリング装置

■長所 ・ご要望に合わせたオーダーメイド ・均一な気体の拡散 ・標準コネクタエレメント

• スパッタリング装置

単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの正三角形です

• スパッタリング装置

1辺25mmトライアングルの有効エリア！単一基板に数百条件分の組成分布を形成します

• スパッタリング装置