スパッタリング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

スパッタリングターゲット材について

• スパッタリング装置

低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

• スパッタリング装置

成膜装置で使用されるバッキングプレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能！熱膨張による割れも抑えたスパッタリングターゲットです。

• スパッタリング装置

スパッタ装置

• スパッタリング装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス

• スパッタリング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能

• スパッタリング装置

ほぼ理想的な混合物が作成可能！直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

• スパッタリング装置

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

• 加工受託
• ウエハー
• スパッタリング装置

アルミ切削／アルミ加工／アルミ機械加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• コーター

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉