スパッタリング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

• スパッタリング装置

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレードアップ

• スパッタリング装置

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。

• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置
• フォトマスク

電子線後方散乱回折法EBSDはアルミスパッタ膜の性能評価や下地材料の選定に役立ちます

• その他金属材料
• スパッタリング装置
• セラミックス

ワーク幅 255,350,450,550,600,750mmに対応！

• スパッタリング装置
• 食品包装機械
• 飲料製造装置

クリーンルーム内の使用に最適！全自動でロールを洗浄するシステムです。

• スパッタリング装置
• 製袋機・スリッター
• 特殊ラベルなど

ULT roll to rollウェブクリーナー装置は コンバーティング生産ライン速度300m/minでも安定して除塵。

• スパッタリング装置
• 製袋機・スリッター
• 食品包装機械

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ活用が可能

• スパッタリング装置

最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載！イオンビームスパッタ装置をご紹介

• スパッタリング装置

最大200mm径基板！ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer FEP)

• スパッタリング装置

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処理用多目的スパッタリング装置。タンブラーの内面も成膜OK

• スパッタリング装置
• ガラス
• 繊維

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

• プラズマ表面処理装置
• 真空機器
• スパッタリング装置

業界を問わずお客様を悩ませてきたメンテナンス時の粘着ロール洗浄をより迅速に、より効率よく洗浄することができる装置です！

• スパッタリング装置

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あらゆる機材に諸植生・親水性など新たな機能を実現。

• スパッタリング装置
• ガラス
• 繊維

電波透過膜を高品質に実現する枚葉式スパッタリング装置です。

• スパッタリング装置