コーターの製品一覧

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リアルタイムに情報をフィードバック!高い再現性&回転誤差極小のスピンコーター

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最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに最適なコーティングシステムをご提供しております。

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実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10,000cps ・膜厚:0.5~100μm

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実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタル期間:6ヶ月(MAX) ※薄膜から高粘度まで

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実験可能サイズ:600×700mm(最大) ランプ照度:50~140mW 受託加工テスト可能 デモ機貸出可能

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高照度172nmエキシマランプ 管面照度150mW/cm²以上

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G2~G6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

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レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能 15日~1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

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短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。

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塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10,000cp 基板サイズ:G8サイズ ※塗布実験可能

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装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。

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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量:3.8kg 寸法:W320×D260×H180mm デモ機貸出可能

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インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応:15日~1年間以上

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