レジスト装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。

• レジスト装置

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。

• レジスト装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

• レジスト装置

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。

• レジスト装置

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！

• レジスト装置

リチルピュアで解決！高純度性に優れたＰＦＡ樹脂リチルライニング

• バルブ
• レジスト装置

用途に応じた幅広い孔径（1nm相当の微細孔径も）と清浄度を有するポリエチレンフィルタ

• レジスト装置
• その他高分子材料

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。

• レジスト装置
• エッチング装置

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

• ステッパー
• エッチング装置
• レジスト装置

切削加工/金属加工

• レジスト装置
• 酸化/拡散装置
• エッチング装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置
• その他半導体製造装置

単品アルミ加工・試作・A5052【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置