レジスト装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

• ステッパー
• エッチング装置
• レジスト装置

低弾性でFPCの折り曲げが容易。薄型化・軽量化、設計自由度アップに貢献

• レジスト装置

切削加工/金属加工

• レジスト装置
• 酸化/拡散装置
• エッチング装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

• 高圧洗浄機
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

• 高圧洗浄機
• レジスト装置

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置
• その他半導体製造装置

単品アルミ加工・試作・A5052【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置
• レジスト装置
• 酸化/拡散装置

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！

• その他
• レジスト装置

多目的全自動スクリーン印刷機

• 印刷機械
• レジスト装置

虫が好む紫外線領域も大幅にカットするため、防虫効果も絶大なLEDライト！

• LED蛍光灯
• レジスト装置
• 蛍光灯

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

• レジスト装置

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり

• ノズル
• ディスペンサー
• レジスト装置