レジスト装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタログ

• レジスト装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

• その他半導体製造装置
• レジスト装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

丁寧な打ち合わせの後、お客様のニーズを満たす乾燥装置をお作り致します。

• レジスト装置

塗料ロスが極めて少なく、対応電池パネルやガラスの製造ラインにも対応。

• レジスト装置

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

薬液使用量削減の最適ツール

• コーター
• レジスト装置
• その他ポンプ

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

• レジスト装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置