エッチング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

微細加工

• エッチング装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工！プロセスガスからラジカルを選択的に生成

• エッチング装置

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置

• エッチング装置
• その他理化学機器
• プラズマ発生装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

• 熱交換器
• エッチング装置
• ウエハ加工/研磨装置

投げ込みタイプ

• 熱交換器
• エッチング装置

シリンダヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

薬液ヒーター　フランジタイプ

• 加熱装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

間欠供給薬液恒温装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

化学研磨ライン、ハンダ剥離ライン、乾燥機・水洗機など！さまざまなコンベア処理ラインのご紹介

• エッチング装置
• その他表面処理装置
• コンベヤ

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

• エッチング装置
• その他機械要素
• その他表面処理装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中

• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

プラスチック成形品の製造ロット管理に新方式！

• エッチング装置
• その他作業工具

UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。　

• ケーブル
• エッチング装置
• その他ネットワークツール

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

• 蒸着装置
• その他半導体製造装置
• エッチング装置

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置

• エッチング装置

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大1500mm X 3000mmの超大型エッチングも対応！

• エッチング装置

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

• エッチング装置

通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫、国内アッセンブリでご提供致します。　

• ケーブル
• エッチング装置
• その他ネットワークツール

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド！

• 加工受託
• エッチング装置

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

• ウエハー
• エッチング装置
• 工業炉

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

• コーター
• エッチング装置
• 基板加工機

シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定

• 光学測定器
• エッチング装置

バキュームノズルで薬液溜りを解消します

• エッチング装置

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪ タッチパネル制御で簡単にお使い頂けます。

• エッチング装置

有機・無機問わず高いエッチング効果！

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

エッチング処理（網）を施している航空機部品をご紹介！

• エッチング装置
• その他表面処理装置
• その他

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

• その他の各種サービス
• 加工受託
• エッチング装置

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

• コーター
• レジスト装置
• エッチング装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

安定した量産、低価格！基板へのインパクトが低い、エッチング装置

• エッチング装置

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチング装置

• エッチング装置

高いエッチング均一性！特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました

• エッチング装置

現像機等で発生する泡の液化処理に！基板品質の向上を実現する泡処理装置

• エッチング装置
• その他水処理装置