アッシング装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例

• エッチング装置
• ウエハー
• アッシング装置

【展示会出展！】BGA基板、リードフレームの表面改質に好適！独自システムの採用により、真空RIEプラズマに近い処理効果を実現！

• アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

• エッチング装置
• アッシング装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

• アッシング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマンスでその地位を確立しております。

• アッシング装置

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。

• アッシング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術

• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

SUS304削り／SUS304切削

• アッシング装置

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

• エッチング装置
• アッシング装置
• 表面処理受託サービス

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。

• アッシング装置
• その他半導体製造装置

切削加工/金属加工

• エッチング装置
• イオン注入装置
• アッシング装置

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• アッシング装置
• 半導体検査/試験装置