アッシング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

• エッチング装置
• アッシング装置

【展示会出展！】BGA基板、リードフレームの表面改質に好適！独自システムの採用により、真空RIEプラズマに近い処理効果を実現！

• アッシング装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

• アッシング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマンスでその地位を確立しております。

• アッシング装置

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。

• アッシング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術

• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

SUS304削り／SUS304切削

• アッシング装置

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

• エッチング装置
• アッシング装置
• 表面処理受託サービス

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。

• アッシング装置
• その他半導体製造装置

切削加工/金属加工

• エッチング装置
• イオン注入装置
• アッシング装置

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• アッシング装置
• 半導体検査/試験装置

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置