ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。
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基本情報
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体 電子デバイス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズ、医療処置具、チューブ、粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着(親水)性の改善により 生産性や品質を大幅に向上させることを目的とした装置です。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
・サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄 ・サブストレート基板と封止樹脂との密着性向上 ・アンダーフィル材の濡れ性改善 ・フォトレジストのアッシング ・金属酸化物のエッチング ・接着効果の改善 ・樹脂／フィルムの表面改質 ・濡れ性の改善
企業情報
半導体評価用のICソケットの開発で半導体メーカーから高い評価を頂いてきました。現在では、カーエレクトロニクス・イメージセンサー・半導体メーカー様の多様なニーズに柔軟かつ迅速に対応し、開発・試作・評価・生産・出荷に必要な資材を一括提案。新製品の開発にも果敢に挑み、秒刻みで変化するエレクトロニクス業界を支援しています。また、2006年10月1日より、ヤマト硝子は、より大きな可能性を目指して発展する企業「ヤマトマテリアル株式会社」へ社名変更し、適確な企業ブランドイメージの浸透とともに、更なる事業展開を目指します。
