アッシング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　PDC-001 / プラズマクリーナー

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

• エッチング装置
• アッシング装置

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他加工機械

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• ウエハ加工/研磨装置

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• 基板加工機