電子ビーム描画装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

室温から-13°Cの強冷風！ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能！

• 冷却装置

ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

3波長を自在にコントロールし、最適な波長域でダイレクトイメージングが可能

• 電子ビーム描画装置

スルーホールやレーザービア（LVH）検査に多くの実績あり。長年の知見と最新技術を結集したハイエンド基板向けAOI

• 電子ビーム描画装置

高速可変可能なビームシェーパーを使用！微細マーキングを用いたアプリケーション【レーザーEXPO　出展】

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー

従来の電子源と比較して、低エネルギー分散かつ大電流を得ることが可能

• 電子ビーム描画装置
• その他理化学機器

ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！

• 電子ビーム描画装置
• その他電子部品

TFE電子銃用の高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃、電子線リソグラフィ用の、高圧電源装置「FE503XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XS」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

サーマルFEエミッタを使用した軟Ｘ線管専用の駆動電源「XE303XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

TFE電子銃用の高精度な高圧電源装置です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

CD-SEM、レビューSEM用の高圧電源装置「FE103XP」です！

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の高いパターニングを実現！DMDを用いたマスクレス露光装置

• 3Ｄプリンタ
• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置