ＣＭＰ装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

COF(摩擦係数)やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターできます。

• ＣＭＰ装置

ラッピング(粗研磨)からポリッシングまでこれ1台　GaAsやInPといった化合物半導体の精密研磨も対応可能

• ＣＭＰ装置

研磨能率と仕上がりに優れ、ドレッシング間隔延長、低切削エネルギー、チッピングが少ない、均一性良し、平坦性、粗面度、並行性に優れ

• 砥石
• 研削盤
• ＣＭＰ装置

固定砥粒盤から遊離砥粒盤、ポリシングクロスまで多種多様な研磨盤をご紹介いたします。

• ＣＭＰ装置
• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

小さい試料を研磨する際に好適！1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発されています

• ウエハ加工/研磨装置
• ＣＭＰ装置
• その他加工機械

ドライイン/ドライアウトが可能！シリコンウェーハの鏡面仕上げ用装置

• ＣＭＰ装置

超薄型、IPX7の防水設計　ステンレス製　厳しい環境下での使用も。　基礎工事不要　装置への組込みも簡単に

• はかり
• ＣＭＰ装置
• 重量関連測定器

精密部品加工／ステンレス加工／SUS加工品

• ＣＭＰ装置
• フォトマスク
• ボンディング装置

マシニング加工／研磨加工

• ＣＭＰ装置
• モールディング装置

単品・小ロット・旋盤加工・精密切削【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• イオン注入装置
• ＣＭＰ装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　半導体製造装置　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• イオン注入装置
• ＣＭＰ装置

半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！ 切削加工での小ロットからインジェクションでの量産にも対応可能!

• ＣＭＰ装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置