搬送・ハンドリングロボットの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット