2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です
光学式アライナ SAL3261GRシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です。ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載し、シリコン、透明、半透明ガラス、ガリ砒素、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能 ○ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載 →シリコン、透明、半透明ガラス、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能 ○オプションでウェーハ持ち直し動作を行うためのZ軸ユニットを準備 ○スピンドルのウェーハ接触部はPEEK材、Oリング(特殊フッ素ゴム)を採用 ○その他、ウェーハ形状に合わせカスタマイズ 【仕様】 ○被搬送物：2インチ,3インチ,100～150mmウェーハ 第一オリフラ、ノッチ仕様 無処理品 ○位置決め精度：センタリング:±0.2mm以内 オリフラロケート:±0.2度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用 モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
