膜厚計の製品一覧
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水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバック/ULVAC】
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低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック/ULVAC】
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単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック/ULVAC】
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- 膜厚計
試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定!FPD用フィルムやSiO2等の3次元複屈折率測定に
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