流量制御の製品一覧
- 分類：流量制御
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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ
直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！
- その他半導体
- 加工受託
- ウエハー
カルマン渦式流量計 データーセンター・サーバーの冷却装置等に実績多数！ IO-Link 対応（オプション）
- 流量制御
- 流量計
単層 / 積層マニホールドで正確な流体制御を実現
- 流量制御
高音／低温流量計OMGは高精度の容積式の高圧流量計です。測定精度は高く、流量校正器の基準器にもご使用いただいております。
- その他理化学機器
- 流量制御
- 油圧機器
計測技術 7月号で KRALスクリューメータが紹介されています。
日本工業出版 発行の 「計測技術 7月号」 （2011.7 Vol.39 No.08） にてKRAL スクリューメータ OMシリーズが紹介されています。 職人の加工精度に拘ったスパイラル・ギアーにて高精度計測を可能にし、流量較正機の基準器としても使用されているOMシリーズの特長や詳細な仕様を分りやすく解説しています。
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適！センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP（Front Opening Unified Pod）用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答：保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要：校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース：RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計：5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性：非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適！センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP（Front Opening Unified Pod）用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答：保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要：校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース：RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計：5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性：非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。
半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適！センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」
センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP（Front Opening Unified Pod）用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答：保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要：校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース：RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計：5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性：非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。