ガスフィルタの製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

狭い作業スペースや、市販のスパナレンチやモンキレンチでも配管作業可能！締込みキズを最小限に抑える利便性の高いねじ継手。

• 管継手
• 配管材
• バルブ

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

スループットが大幅に向上

• ガスフィルタ

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ガスフィルタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

安定した濾過性能

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ