半導体製造装置の製品一覧

摺動抵抗による損傷からOリングを保護！優れた耐溶剤性を発揮し、シール部の寿命延長に貢献します

• シール・密封

開発から量産据え付けまで1チームで手がけるHonda鈴鹿製作所におけるAutoForm活用、3年間の歩みとその成果

• シミュレーター

HL-720　チューブ搭載IC３次元外観検査装置

• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置
• 外観検査装置

マルチ媒体対応デバイス自動書込み装置

• その他産業用ロボット
• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置

マルチノズル搭載高速デバイス自動書込み装置

• その他産業用ロボット
• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置

一括64個書きに対応。開発用の1個書き、生産用には8個書きも可能！

• その他加工機械
• 半導体検査/試験装置
• その他電子部品

大気圧プラズマ装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他半導体

半導体用トランスデューサー

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

スクラブ洗浄装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

ＩＰＡベーパ乾燥装置

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

PLAD-221-Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250E PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250R PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-271PE PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-150Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-161 PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-261PG PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

エキシマレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

パルスレーザパルス蒸着システム

• 油圧機器
• 蒸着装置
• 真空機器

シールドルーム

• その他半導体製造装置
• その他環境機器

オールソリッドステート式マイクロ波電源

• 樹脂加工機
• 乾燥機器
• その他半導体製造装置

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

真空配管、粗引配管設計及び制作

• 油圧機器
• その他半導体製造装置
• 真空機器

ガス配管製作

• 油圧機器
• その他半導体製造装置
• 真空機器

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

• その他加工機械
• その他半導体製造装置
• 製造受託

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

業界初、新小型サーボプレス機。ストローク長とラムスピードは３〜６０ｍｍの範囲で任意に設定可能

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

超薄物材料のプレス・トムソン加工やハーフカット加工に最適

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限に広がる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限にひろがる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

• エッチング装置
• アッシング装置

EFEM（Equipment Front End Module）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

６インチ径PFAカスタム圧力容器

• その他半導体製造装置
• 加工受託

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他加工機械

精密洗浄

• その他半導体製造装置
• 表面処理受託サービス

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• ウエハ加工/研磨装置

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• 基板加工機

表面改良コンポーネント

• その他半導体製造装置
• 製造受託

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

• その他半導体製造装置

ウェハー表面改質・精密接合装置

• ウエハ加工/研磨装置

フィルム連続成膜装置

• その他半導体製造装置