半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
2024/4/10（水）～2024/4/12（金）名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内
三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド（名古屋）に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時：2024/4/10～2024/4/12 開場：AM10:00~ 場所：名古屋ポートメッセ（第１展示会場） ※弊社ブース：19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。
「厚銅の精密加工と『廃液削減』を両立。ドイツの知性が生んだ資源循環型プロセス。SiC/GaN向け放熱基板の微細加工に最適。
- エッチング装置
Ti-6Al-4Vも対応。フッ酸精密制御で酸化膜除去・表面粗化・コーティング前処理を安全に実現。TÜV SÜD認証取得済み。
- その他加工機械
- エッチング装置
リアルタイム測定と連動したレーザーアブレーションで抵抗値を精密調整。厚膜・薄膜ハイブリッド回路の製造ばらつきをゼロへ。
- その他半導体製造装置
AIと分析技術を活用し、付加価値の高い解析サービスを提供します。
- 受託解析
- 受託解析
- 半導体検査/試験装置
フルカラー外観検査装置「AURCAシリーズ」
- 半導体検査/試験装置
- 外観検査装置
- 基板検査装置
屋外や油まみれの過酷な現場で、銘板の文字消えや剥がれに悩んでいませんか？図面１枚から高耐久な銘板をオーダーメイド一貫生産します。
- エッチング装置
- 銘板
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
- アニール炉
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、CVDなどの各種真空薄膜実験、高温真空アニール、高温試料解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ●セミカスタム製品です。ご要望に応じて設計製作いたします。 ●予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） ●RF/DCバイアス、基板回転などにも対応 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● RF（150W）/DC（1KW）バイアス印加 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
- アニール炉
- 加熱装置
- 電気炉
多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-125】Φ12inch対応 SiCコーティング 1000℃ヒーターステージ 搭載！コンパクトサイズ！
多元マルチスパッタリング装置（Φ12inch基板対応） ・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ ・RF150W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更 ・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用 ・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能） ・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF150W ・LLチャンバー ＜30W 低出力制御ソフトエッチング ・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減 ・タッチパネル又はWindows PC操作：操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法：1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm ・マルチチャンバー式も製作可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
半導体のCMP工程における過酸化水素の濃度をプロセス分析計 / オンライン分析計で常時モニタリング！
- 分析機器・装置
- 半導体検査/試験装置
- ウエハー
最先端レベルのFlashメモリ書込みとセキュアデバイスプロビジョニングにいち早く対応し、国内の幅広い用途に拡販！
- その他半導体製造装置
- マイクロコンピュータ
- 半導体検査/試験装置
最先端レベルのFlashメモリ書込みとセキュアデバイスプロビジョニングにいち早く対応したプログラミング装置などを紹介！
- その他情報システム
- その他半導体製造装置
6/23開催 硅素化学製品の基本と応用セミナー
■タイトル 「よくわかる『硅素化学製品』の基本と応用 ～体系的に学ぶ、シリコンからシリコーンまで～」 半導体や太陽電池に用いられるシリコン、各種表面処理や中間体として活躍するシラン、日用品から先端材料まで幅広く利用されるシリコーン。本セミナーでは、これら硅素化学製品の基礎知識から製法、特性、用途までを体系的に解説します。シリコンとシリコーンの違い、シランの役割、半導体・光学分野での活用事例などを通じて、硅素化学品の全体像を理解できます。 【対象者】 ・硅素化学（シリコン、シラン、シリコーン）に関心のある方 ・硅素化学品関連業務に携わる方 ・半導体、光学、電子材料分野の技術者・研究者 ・基礎から体系的に学びたい方
ウエハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング！
- 分光分析装置
- ウエハー
- 半導体検査/試験装置
ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルターシステム
- その他フィルタ
- その他半導体製造装置
- 半導体検査/試験装置
