半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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用途はアイデア次第! 重い物が 楽に 軽く 回せる 小型旋回ベアリング「楽っかる(らっかる)」!
- 金属軸受・ベアリング
Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
- 半導体検査/試験装置
半導体製造に革新もたらすミニマルファブ!研究開発から生産まで担えるの半導体製造装置!
- その他半導体製造装置
最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに最適なコーティングシステムをご提供しております。
- コーター
パーフロロエラストマー!!耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。
- 酸化/拡散装置
- CVD装置
- エッチング装置
長期耐久性に優れたふっ素ゴム!!従来のふっ素ゴムに比べ高温(200〜220℃)での使用にも耐えます。
- 酸化/拡散装置
- CVD装置
- 真空機器
実験用小型スリットコーター ・基板サイズ:200mm ・粘度:数cps~10,000cps ・膜厚:0.5~100μm
- コーター