更新日： 集計期間:2026年03月25日～2026年04月21日
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摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造で、レーザービームを精密制御
レーザー加工業界では、レーザービームの精密な位置決めと制御が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、微細加工や高速加工においては、ナノレベルの精度と高い応答性が求められます。従来の制御方法では、位置決め精度や応答速度に限界があり、加工品質の低下や生産性の停滞を招く可能性がありました。P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能を実現し、レーザービームの精密な位置決めと制御を可能にします。 【活用シーン】 ・レーザーマーキング ・レーザー切断 ・レーザー微細加工 ・レーザー走査 【導入の効果】 ・高精度なレーザー加工を実現 ・加工時間の短縮 ・歩留まりの向上 ・多様な加工への対応
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
バイオテクノロジー分野の顕微鏡イメージング用途では、細胞や組織の微細構造を高精細に観察するために、正確なフォーカス制御が不可欠です。特に共焦点顕微鏡や多光子顕微鏡などの3Dイメージングでは、Z軸（フォーカス方向）の高分解能と高速応答性が観察精度に直結します。 P-725.xCDE2 PIFOC Focus Scannerは、PICMAピエゾアクチュエータと静電容量センサーを採用したフレクシャガイド機構により、サブナノメートル分解能での精密フォーカス制御を実現します。また最大800 µmのストロークに対応し、奥行き方向の広い範囲での高速・高精度な走査が可能です。こうした特性により、観察時間を短縮しつつ、フォーカス位置ズレを抑え、結果として実験の信頼性と効率向上に寄与します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡 ・多光子顕微鏡 ・3Dイメージング ・ライブセルイメージング ・ハイスループット顕微鏡スクリーニング 【導入の効果】 ・高精度なZ方向フォーカス制御 ・広いフォーカスストロークによる対応範囲拡大 ・高速走査による観察効率向上 ・安定したイメージング品質
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
ナノテクノロジー分野の構造解析では、ナノスケールでの高精度なZ方向フォーカス制御が不可欠です。 P-726 PIFOCは、100 µmストロークとサブナノメートル分解能（約0.3 nmクラス）を実現した高荷重対応フォーカススキャナです。 静電容量センサーによる直接フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い位置決め精度と再現性を提供。約6msの高速セットリング性能により、Zスキャンを伴うナノ構造観察や3Dイメージングの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡によるナノ構造観察 ・超解像光学顕微鏡のZスキャン ・光学式ナノ構造解析装置 ・3Dイメージング評価装置 【導入の効果】 ・サブナノ分解能による高精度フォーカス制御 ・高速セットリングによる測定効率向上 ・高荷重対応による光学系設計自由度向上 ・長期安定動作による再現性向上
真のEMCノイズスキャナ。EMI（エミッション）＆EMS（イミュニティ）の両方のソリューションを提供します。
革新の「画像測定モード」は従来の「突き当て、スタディ」動作を不要とし、DUT設置から計測終了までを短時間で実行可能なスキャナーです。 「局所イミュニティー試験」「3次元測定機能」は、EMC問題解決に 新たな切り口を提供します。 そして、解析ソフト(ビューア）はWEBダウンロード可能（無料）。 DUT画像、CAD図とノイズマップの重ね合わせ機能は標準機能です。 ・「画像測定モード」基板写真のキャプチャ⇒画像上で測定エリアの設定 レーザーによる高さ測定⇒測定ステップ設定⇒測定実施 ・「局所イミュニティー試験」MT-676E/Hの電界／磁界照射プローブにより空間からの電磁界の侵入を可視化！困難なイミュニティでの問題解決に寄与 ・「3次元測定機能」プローブの高さを変えながら3次元で電界／磁界の測定。エミッション対策だけでなく、アンテナ放射の可視化にも応用可能。 ・DUT画像、CAD図とノイズマップの重ね合わせ機能 （特許技術） 解析ソフトに標準で搭載。ソフトはWEBから無料ダウンロード。サブスクなど費用発生はありませんので、協力会社、顧客等とのデータ・情報共有もスムーズです。
文化財の記録保存に。高精度3Dスキャンで、貴重な遺産をデジタル化。
文化財の記録保存においては、形状や状態を正確に記録し、後世に伝えることが重要です。特に、劣化しやすい素材や複雑な形状の文化財は、詳細な記録が不可欠です。従来の計測方法では、時間と手間がかかり、正確性に課題がありました。当社の3Dレーザースキャナは、非接触で高精度な3Dデータを取得し、文化財の形状を詳細に再現します。 【活用シーン】 - 博物館での展示資料のデジタルアーカイブ - 劣化状況の記録と分析 - 破損した文化財の修復支援 - 3Dプリンタによるレプリカ作成 【導入の効果】 - 貴重な文化財の正確なデジタル記録 - 劣化や破損の早期発見と対策 - 3Dデータを利用した教育・研究への活用 - 効率的な修復作業の実現
ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。 さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御 ・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置 ・共焦点光学系を用いた三次元検査 ・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン 【導入の効果】 ・高精度フォーカス制御による測定安定性向上 ・高速セットリングによるZステップ時間の短縮 ・高荷重対応による光学系設計の自由度向上
