ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。 さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御 ・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置 ・共焦点光学系を用いた三次元検査 ・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン 【導入の効果】 ・高精度フォーカス制御による測定安定性向上 ・高速セットリングによるZステップ時間の短縮 ・高荷重対応による光学系設計の自由度向上
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基本情報
【特長】 ・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング ・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz） ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適なソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、多様な製品ラインナップと、位置決めに関する豊富な知識で、お客様の課題解決をサポートします。
価格情報
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用途／実績例
応用例 ・3D画像 ・スクリーニング ・オートフォーカスシステム ・顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・表面形状解析 ・ウェハー検査
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
