100 µmのストローク、システム分解能0.4nm、荷重210g時でも560Hzの共振周波数
P-726は重い高NA対物レンズを高速・高精度で駆動するPIFOC(R)ハイロードフォーカススキャナです。 フレクシャガイドと静電容量センサを内蔵し、0.3 nmのOpenLoop分解能、0.02 %リニアリティエラーを実現。 共振周波数は無負荷で1120Hz、210 g負荷でも560 Hzを維持し、半導体ウェハ検査や共焦点・超解像顕微鏡のZスキャンを高速化。 QuickLockアダプタでM32／M27など主要スレッドサイズに対応。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング ・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz） ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
応用例 ・3D画像 ・スクリーニング ・オートフォーカスシステム ・顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・表面形状解析 ・ウェハー検査
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。