サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
半導体検査装置では、微細な欠陥の検出や3Dフォーカス評価のために、高分解能なZ方向位置制御と迅速なステップ動作が求められます。P-725.xCDE2 PIFOCフォーカススキャナは、サブナノメートル分解能と最大800 µmのフォーカスレンジを両立した高精度アクチュエータです。 PICMAピエゾアクチュエータと静電容量センサー内蔵フレクシャガイド機構の組合せにより、高い線形性・再現性・安定性を実現します。これにより、半導体検査におけるZフォーカスの高精度制御と高速スキャンが可能になり、検査プロセスの精度向上と装置のスループット改善に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面欠陥検査のZフォーカス制御 ・チップ・パッケージ検査における高分解能イメージング ・光・レーザー式検査装置の高速Zスキャン ・光学検査、共焦点光学顕微鏡を用いた欠陥解析 【導入の効果】 ・高精度フォーカス制御による測定精度の向上 ・高速なZステップ動作による検査スループット改善 ・安定した長期動作と装置信頼性の向上
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基本情報
【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な精密位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、お客様の課題解決に貢献する複合システムのご提案が可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
・各種顕微鏡（共焦点、ライトシート、超解像度、2光子など） ・3Dイメージング ・スクリーニング ・干渉計測機 ・高精度測定 ・オートフォーカスシステム ・バイオテクノロジー ・半導体検査など
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| P-725.1CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 100 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
| P-725.4CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 400 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
| P-725.8CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 800 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
カタログ（2）
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
