サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
ナノテクノロジー分野では、ナノスケール構造の観察や評価において、高分解能かつ安定したフォーカス位置制御が求められます。P-725.xCDE2 PIFOCは、最大800 µmの移動量(モデルによる)とサブナノメートル分解能(適切なコントローラ使用時)を備えた対物レンズ用フォーカススキャナです。ピエゾアクチュエータとフレクシャガイド機構により、摩擦やバックラッシュのない滑らかなZ方向動作を実現します。顕微鏡システムにおけるナノスケールでのフォーカス調整やZスキャン用途に適しています。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡におけるZスキャン ・多光子顕微鏡でのフォーカス位置制御 ・半導体ウェハ検査における高さ方向微調整 ・ナノ構造観察時の精密フォーカス制御 【導入の効果】 ・サブナノメートル分解能のフォーカス位置制御 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・最大800 µmの広いZ移動量(モデルによる) ・摩耗部品のないフレクシャガイド構造
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基本情報
【特長】 ・ストローク:100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器も提供し、複合システムのご提案も可能です。
価格帯
納期
用途/実績例
・各種顕微鏡(共焦点、ライトシート、超解像度、2光子など) ・3Dイメージング ・スクリーニング ・干渉計測機 ・高精度測定 ・オートフォーカスシステム ・バイオテクノロジー ・半導体検査など
ラインアップ(3)
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| P-725.1CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 100 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
| P-725.4CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 400 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
| P-725.8CDE2 | PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 800 µm, capacitive sensors, D-sub connectors |
カタログ(2)
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。






