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材料の研究開発、評価に最適な顕微鏡用ヒート・クールステージです。
顕微鏡用ヒート・クールステージ「PN-121-C型」は、材料の研究開発、評価に最適です。 従来、高価で、導入が難しかった工程にも低額な投資で、顕微鏡高温観察が可能となりました。 専用ソフトウェア（PCS100）との組合せにより、複雑な温度プロファイルが簡便に管理できます。 【特徴】 ○温度範囲 35-150℃ 対応 ○ガラスチャンバー窒素ガス封入式ホットプレート ○セラミックヒータ/ペルチェ素子の搭載により、 温度サイクルをプレート上で実施可能 ○温度サイクルレートは、１℃/sec（温度域により若干ことなります） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能です。
カスタムホット・クールプローバステージ「PN-121-C型」は、ウエハ、ガラス基板、フィルムなどMSAのホットチャック（PHシリーズ）との組合せにより、高温(+400℃）~低温(-40℃）までの温度試験・評価が可能です。 カスタム対応品ですので、プローブカード、マニュピレータなどとの組合せができ、OEMにも対応いたします。 BESTな評価システムを製作いたします。 【特徴】 ○カスタムプローバステージ ○デバイス、オンウエハ 評価システムの構築が可能 ○装置メーカ様OEM対応品 ○マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能 ○PH201-400は、最高温度400℃、6インチウエハ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
圧力を可変させながらのセンサー・電子素子温度特性評価に最適です。
耐圧チャンバー ペルチェステージ 「PG-0810P」は、材料加熱プロセス、評価・開発など圧力を可変させながらのセンサー・電子素子温度特性評価に最適です。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲 -10～80℃ ○ホットプレートサイズ 65×65mm ○温度精度 ±4% ○圧力範囲 -100~+100KPa ○専用ソフトウェア PCS100 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品
「SXY150」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm(±50mm) ○ハンドル駆動ピッチ 2mm/1回転 ○プレートサイズ □150 ○ステージ高さ 73mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです
「WXY100」は、カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです。 検査、試験装置へのワーク固定用ステージとしてカスタマイズ可能なステージです。 ワーク形状、サイズ、調整軸数など様々なカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○調整ストローク 50～100mm ○ワークサイズ 100～200ｍｍ ○調整軸数 フルカスタム対応 ○対象装置 フルカスタム対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです
「WXY105」は、カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです。 検査、試験装置へのワーク固定用ステージとしてカスタマイズ可能なステージです。 ワーク形状、サイズ、調整軸数など様々なカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○調整ストローク 50～100mm ○ワークサイズ 100～200ｍｍ ○調整軸数 フルカスタム対応 ○対象装置 フルカスタム対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
時間短縮・効率UP！不具合品の混入を未然に防ぐ回転ステージ
『スムース・ピー・ステージ』は、驚異の精度0.002mm以下の 平行度測定用回転ステージです。 インジケータ、又はダイヤルケージだけあれば測定OK。 現場で測定できるので手間いらずです。 また、加工品にキズがつかないことも特長です。 【特長】 ■驚異の精度0.002mm以下 ■インジケータ、又はダイヤルケージだけあれば測定OK ■載せてまわすだけ ■合皮判別などが即座に可能 ■現場での測定がわずか10秒程度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
◆高アイソレーション性能 ◆低挿入損失◆1270-1610nm以外の波長カスタム可能◆短納期・小ロットのご提案◆コンパクトサイズ
高アイソレーション性能 (シングル：>35dB, デュアル：>50dB) 低挿入損失（シングル：<0.3dB,デュアル：<0.6dB) シングル・デュアルステージ SMT 光アイソレータをご提案します。 標準ラインナップ：1270～1610nmとなっておりますが、その他の波長にもカスタム可能です。 製品は小ロットからご提案可能です。 ［中心波長 (nm)］ ［アイソレーション(dB)］ ［IL(挿入損失) (dB)］ ［クリアアパーチャ］ ●シングルステージ SMT フリースペース光アイソレータ 1270-1610 >35 <0.3 φ0.4-1.0 ●デュアルステージ SMT フリースペース光アイソレータ 1270-1610 >50 <0.6 φ0.4-1.0
超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
中心穴径は最大8ミリまで可で、機械的及び電気的変更可です。
回転ステージのDT65は、中心穴径は最大8ミリまで可能です。分解能の変更可。Z軸組立て対応可。機械的及び電気的変更や高真空対応も可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。また、DT105は、アダプターを使用せずにMT105で組立てができ、取付金具でZ軸組立て対応可能です。機械的及び電気的変更や真空・非磁性オプションも可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空対応可で、クリーンルーム仕様納品可の製品になります。
リフティングステージは、真空対応可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。ストロークは16mm、位置きめ精度は2μm、垂直力/置換え比は1：3です。また、直進性/平面度は±2μm、最大送り速度は20mm/sです。最大加速度は200mm/sの2乗、最大負荷はＺ：30Ｎ、重量は4.5kgになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オミクロン社製サンプルホルダーに対応！コンパクトな傾斜付きステージ
『KSKS-1』は、オミクロン社製サンプルホルダーを加熱するステージです。 取り付けフランジがICF70でコンパクト。 角度付きポートからでもステージが水平となる様な傾斜付きステージのため、 全方位から導入が可能なほか、駆動機構を備えており、任意の位置へ移動調節可能です。 加熱温度450℃のヒーターをステージ内部に設置しており、加熱時の赤熱発光が 漏れる事はありません。 また、真空ベーキング（≦200℃）対応可能な構成となっており、超高真空下での使用が可能です。 【特長】 ■オミクロン社製サンプルホルダーに対応 ■斜めポートより導入可能な、傾斜ステージ ■搬送/退避位置へ移動可能な、駆動機構を装備 ■ICF70より導入可能な、コンパクトな構成 ■加熱時の赤熱発光が漏れる事がない ■超高真空下での使用が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
