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ナノレベル動作量はZ軸100µmと200µm チップチルト軸1mradと2mradのタイプ 66mm開口で透過光にも最適
P-5x8シリーズは、チップチルト付きピエゾナノステージ P-518.TCD とロングストローク版 P-528.TCD/ZCD を同一プラットフォームで展開します。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、パラレルキネマティクスと静電容量式センサで システム分解能 0.8 nm、リニアリティエラ― 0.03 %を実現。 66 × 66 mm の大開口が干渉計測や透過光アプリに適し、耐荷重50Nをもち、半導体検査・フォトニクス、顕微鏡、高精度アライメントに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現！マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能！
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能！
顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間 ・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命 ・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優れたフォーカス安定性 ・位置センサーの選択：静電容量によるダイレクト計測（高性能）または歪みゲージ（低コスト） ・Metamorph(TM)画像ソフトに対応 ・PICMA（TM）ピエゾアクチュエータによる長寿命を実現 ・クイックロックアダプターによる操作性の向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
P-616 は、パラレルキネマティクスを採用した XYZ ピエゾナノポジショナです。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、静電容量センサを各軸に内蔵した、再現性10nm、0.4 nm システム再現性を提供します。 ファイバーの位置決めとアライメント、顕微鏡、ナノ位置決め、フォトニクス、マイクロマニピュレーションなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。 【特長】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
精密クラスの回転ステージ！オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm
『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、 範囲に制限はない高速小型回転ステージです。 リファレンスポイントスイッチで、中央の開口部は直径7mm。 「PILine超音波ピエゾモータ」で、振動するピエゾセラミック アクチュエータが、リング状のランナーで直接動作します。 高速、保持トルクは0.1Nmです。 【特長】 ■側面の長さ50mm ■位置エンコーダを内蔵 ■1000°/秒を超える速度 ■回転範囲は制限なし ■開口部の直径：7mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ピエゾモータ駆動により22mm動作の小型XY軸ステージ セルフロックで位置保持
『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、 ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。 電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが 小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。 エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより 信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。 【特長】 ■2軸での高速位置決め ■軽量で省スペース ■高ガイドの精度 ■センサー分解能 10nm ■待機時セルフロック、待機時の発熱なし ■低ノイズオペレーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ！一方向再現性は0.1μmです
『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。 移動範囲は、102 mm×102 mm（4 "）。 速度は、500 mm/sです。 リファレンスリミットスイッチは光学式です。 【特長】 ■移動範囲：102 mm×102 mm（4 "） ■150x150mmの大きな開口部 ■一方向再現性：0.1μm ■速度：500 mm/s ■三相リニアモータ ■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、 性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。 最大限の柔軟性のために、インクリメンタルエンコーダと アブソリュートエンコーダを選択することができます。 【特長】 ■最大トラベルレンジ：813mm ■定格フォース：87N ■インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！
PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。 【特長】 ・最大1000Nの耐荷重 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm） ・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか＆高速応答
PI Mag(R)リニアモータとダイレクトエンコーダを組み合わせたV-817は、非接触駆動で発塵を抑え、長期安定性を実現します。 最大負荷600 Nまで対応し、2 µmレベルの位置決め再現性を実現。 動作量は、204, 407, 610, 813 mmの4タイプをラインアップし、ドラッグチェーンや75〜150 mm角M6取付プレートなど豊富なアクセサリで迅速にシステム化できます。 センサーやカメラの組立、精密検査&測定、ウェハー加工&検査、レーザー加工など幅広い産業アプリをサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
