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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置決めステージ！
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ
【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で50mm動作の高性能位置決めステージ
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。
【真空対応】サブミクロン分解能で動作範囲50mmの位置決めステージ
ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 50mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製作もOK
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。 半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。 【真空対応システムの特徴】 創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に 真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。 ※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。 ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。 また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。
速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティック！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○NIKON製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
短納期・高速・高精度を実現するFPD検査用リニアモーターステージ
FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 ・FPDパネルの寸法測定 ・異物・欠陥検査 ・位置決め精度の高い検査工程 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・生産性の向上 ・検査精度の向上
短納期・高速・高精度！自動車組立工程の効率化に貢献
自動車組立業界では、生産効率の向上が常に求められています。特に、部品の正確な位置決めと迅速な搬送は、組立工程全体のボトルネックとなりやすい部分です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、生産性の向上を阻害する要因となっていました。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、組立工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・自動車部品の組立工程 ・車体への部品取り付け ・検査工程での位置決め 【導入の効果】 ・組立時間の短縮 ・生産性の向上 ・品質の安定化
レーザー加工における精密な位置決めを実現
レーザー加工業界では、高精度な加工を実現するために、ワークの位置決め精度が重要です。特に、微細加工や高密度実装においては、位置決めのわずかなズレが加工精度に大きな影響を与え、不良品の発生や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社のナノ精度位置決めステージは、±2nmの位置決め安定性を実現し、レーザー加工における高精度な位置決めを可能にします。 【活用シーン】 ・レーザーマーキング ・レーザー切断 ・レーザー彫刻 【導入の効果】 ・高精度な加工の実現 ・不良品の削減 ・歩留まりの向上
レーザー加工における精密な位置決めを実現
レーザー加工業界では、高精度な加工を実現するために、ワークの位置決め精度が重要です。特に、微細加工や高密度実装においては、位置決めのわずかなズレが加工精度に大きな影響を与え、不良品の発生や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社のナノ精度位置決めステージは、±2nmの位置決め安定性を実現し、レーザー加工における高精度な位置決めを可能にします。 【活用シーン】 ・レーザーマーキング ・レーザー切断 ・レーザー彫刻 【導入の効果】 ・高精度な加工の実現 ・不良品の削減 ・歩留まりの向上
短納期・高速移動を実現する単軸リニアモーターステージ
工作機械業界では、加工時間の短縮と生産性の向上が常に求められています。特に、高速移動を必要とする用途においては、高い加速度と正確な位置決めが重要です。ボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、生産効率を阻害する可能性があります。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 * 工作機械のテーブル移動 * 部品の高速搬送 * 高精度な位置決めが必要な加工 【導入の効果】 * 加工時間の短縮 * 生産性の向上 * 高い位置決め精度の実現
短納期・高速・高精度！ロボットの動きを最適化
ロボット業界では、正確な位置決めと高速な動作が求められます。特に、製造ラインにおける部品の搬送や組み立て作業では、高い精度と速度が生産効率を大きく左右します。従来のボールねじ方式では、加速度や速度に限界があり、ロボットの性能を最大限に引き出すことが難しい場合があります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度・短納期を実現し、ロボットの性能を向上させる最適なソリューションです。 【活用シーン】 ・ロボットアームの精密な位置決め ・部品の高速搬送 ・組み立て作業 ・検査装置 【導入の効果】 ・ロボットの動作速度向上 ・生産性の向上 ・不良品の削減 ・高い信頼性
短納期・高速・高精度搬送を実現するリニアモーターステージ
包装業界における搬送工程では、製品の品質保持と生産性の向上が求められます。特に、高速かつ正確な位置決めが、包装の効率を左右する重要な要素です。従来の搬送システムでは、速度や精度の限界、またはメンテナンスの頻度が高いといった課題がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、包装ラインのパフォーマンスを向上させます。 【活用シーン】 ・包装機械への部品供給 ・製品の仕分けと移動 ・高速搬送が必要な工程 【導入の効果】 ・高速搬送による生産性向上 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・短納期対応によるリードタイム短縮
光学機器の調整作業をサポートする単軸リニアモーターステージ
光学機器業界では、レンズやセンサーの位置調整において、高精度な位置決めが求められます。特に、微細な調整が必要な場面では、精度の高い位置決めステージが不可欠です。手動での調整は、時間と手間がかかり、調整誤差が生じる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度なリニアモーターを採用し、光学機器の調整作業を効率化します。 【活用シーン】 ・レンズの位置調整 ・センサーの位置調整 ・光学系の精密位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・作業時間の短縮 ・調整作業の効率化
自動車組立工程の効率化に貢献する単軸リニアモーターステージ
自動車製造業界の組立工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、部品の正確な位置決めと迅速な搬送は、生産性の向上に不可欠です。位置決めのずれや搬送の遅延は、組立不良や生産ラインの停止につながる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・車体への部品組付け ・内装部品の配置 ・検査工程での位置決め 【導入の効果】 ・組立時間の短縮 ・品質の向上 ・生産性の向上
実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ
計量・計測・品質管理工程では、測定結果の正確性と再現性が、製品品質の信頼性を大きく左右します。特に、センサや測定ユニットを用いた計量・検査工程では、位置決めのズレや動作時の揺れが測定誤差を引き起こし、品質判定のばらつきや誤判定につながる可能性があります。その結果、再検査の増加や検査工程全体の効率低下を招く要因となります。このような工程では、高精度かつ安定した繰返し動作を実現する直線駆動機構が不可欠です。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と安定した直線動作により、計量・計測・品質管理工程における測定精度と検査の信頼性向上に貢献します。重量測定、寸法検査、品質判定など、精度が求められる各種工程において、安定した計測環境を実現します。 【活用シーン】 ・寸法・形状・位置精度を測定する検査装置 ・重量・ばらつきを確認する自動計量システム ・生産ライン内インライン計測・品質確認工程 【導入の効果】 ・計測結果のばらつきを抑え、測定精度を安定化 ・検査工程の自動化により、検査時間を短縮 ・人による測定差を低減し、品質判断の属人化を解消
検査精度を、装置性能で底上げする。
エレクトロニクス検査・試験分野では、製品の微細化・高密度化に伴い、検査精度と再現性への要求が年々高まっています。特に、プローブやセンサ、カメラなどの検査ヘッドを正確に位置決めする工程では、わずかなズレや振動が測定誤差や誤判定の原因となり、品質信頼性に大きな影響を与えます。 当社のナノ精度位置決めステージは、高剛性構造による安定した直線動作と優れた繰返し位置決め精度を実現し、エレクトロニクス検査装置に求められる高精度な位置制御を支えます。安定した動作により検査条件のばらつきを抑え、信頼性の高い検査・試験環境の構築に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品・基板の外観検査装置 ・プローブを用いた電気特性検査・接触試験 ・センサ・カメラ位置決め用直線ステージ ・信頼性試験・耐久試験装置の位置決め軸 ・検査工程におけるヘッドの自動位置調整 【導入の効果】 ・検査ヘッドの位置ズレを抑制し、測定精度と再現性を向上 ・動作の安定化により、検査結果のばらつきを低減 ・高精度な直線位置決めにより、誤判定・再検査の削減 ・検査工程の信頼性向上による、品質管理レベルの底上げ
実装精度を、ラインの安定力に。電子機器製造を支える単軸リニアモーターステージ
エレクトロニクス製造・実装工程では、部品の微細化・高密度化が進む中で、位置決め精度のわずかなズレが、実装不良や品質低下につながるケースが増えています。特に、チップ搭載、検査、テーピング、搬送といった工程では、安定した直線動作と高い繰返し精度が、製造品質を左右する重要な要素となります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高剛性構造と滑らかな直線動作により、電子部品の実装・搬送・位置決め工程を高精度かつ安定して支援します。 【活用シーン】 ・実装位置ズレの低減による 不良率の抑制 ・安定した繰返し動作による 実装品質の均一化 ・振動・ブレの抑制による 高密度実装への対応力向上 ・ライン停止リスクの低減による 稼働率向上 ・自動化工程への組み込みによる 省人化・省力化 【導入の効果】 ・実装位置ズレの低減による 不良率の抑制 ・安定した繰返し動作による 実装品質の均一化 ・振動・ブレの抑制による 高密度実装への対応力向上 ・ライン停止リスクの低減による 稼働率向上 ・自動化工程への組み込みによる 省人化・省力化
高精度な位置決めを実現し、半導体製造の効率化に貢献
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの誤差は製品の品質に直接影響を与え、歩留まりを低下させる要因となります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決め性能と優れた速度制御により、半導体製造プロセスにおける位置決め精度を向上させ、歩留まりの改善に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ検査装置 ・露光装置 ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・高速動作による生産性向上 ・短納期対応によるリードタイム短縮
FPD検査工程の効率化に貢献する2軸リニアモーターステージ
FPD（フラットパネルディスプレイ）業界の検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、正確な位置制御と安定した動作が不可欠です。不正確な位置決めや遅い動作は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作を実現し、FPD検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの画質検査 ・異物検査 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の削減
高精度な医療機器製造を支える2軸リニアモーターステージ
医療機器業界における精密加工では、高い精度と信頼性が求められます。特に、微細な部品の加工や組み立てにおいては、位置決めの正確さが製品の品質を左右します。不正確な位置決めは、製品の不良や機能不全を引き起こす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度制御により、医療機器製造における精密加工の課題を解決します。 【活用シーン】 ・診断装置の部品加工 ・医療用ロボットの精密部品製造 ・医療用レーザー機器の部品加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる製品品質の向上 ・短納期化によるコスト削減 ・組み立て時間の短縮
高精度な計測を、短納期・低コストで実現する2軸リニアモーターステージ
精密測定業界では、高精度な計測が求められます。特に、微細な位置決めや正確な移動が不可欠であり、測定結果の信頼性を左右します。従来のステージでは、精度や速度、コストのバランスが課題となることがありました。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、高精度な計測を可能にします。 【活用シーン】 ・精密部品の検査 ・半導体製造装置 ・研究開発における実験 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる測定精度の向上 ・短納期での導入によるコスト削減 ・優れたコストパフォーマンス
3Dプリンターの造形精度を向上させる2軸リニアモーターステージ
3Dプリンター業界では、造形物の精度と速度が重要な課題です。特に、複雑な形状や微細な造形が求められる場合、位置決め精度の高さが不可欠です。精度の低いステージでは、造形不良や時間のロスが発生し、生産効率を低下させる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動により、3Dプリンターの造形精度と生産性を向上させます。 【活用シーン】 ・精密部品の造形 ・試作品の作成 ・複雑な形状の造形 【導入の効果】 ・造形精度の向上 ・生産性の向上 ・不良品の削減
自動車部品の検査工程を加速する、高精度2軸リニアモーターステージ
自動車業界の検査工程では、製品の品質と安全性を確保するために、高精度な位置決めと迅速な検査が求められます。特に、部品の寸法測定や外観検査においては、正確な位置決めが不可欠です。位置決めの精度が低いと、検査結果の信頼性が損なわれ、不良品の発見が遅れる可能性があります。当社のリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動を実現し、検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・自動車部品の寸法測定 ・外観検査などの検査工程 ・組み立て工程における位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の早期発見 ・コスト削減
高速フォーカス・高精度検出で微細加工の課題を解決！
半導体製造業界の微細加工においては、高精度な位置決めが不可欠です。特に、ウエハの反りや表面の微細な凹凸による焦点誤差は、加工精度を大きく左右し、歩留まりの低下や不良品の発生につながります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度により、これらの課題に対応します。高さ90mmのコンパクトな設計で、既存の装置への組み込みも容易です。 【活用シーン】 ・半導体製造における微細加工 ・ウエハの反り補正 ・高精度な位置決めが必要な工程 【導入の効果】 ・焦点誤差の解消による加工精度の向上 ・歩留まりの向上 ・装置全体の小型化 ・高速かつ高精度な位置決めによる生産性の向上
高速フォーカス・高精度検出で、実装工程の課題を解決！
電子部品実装業界では、部品の正確な配置と高品質な接合が求められます。特に、高密度実装が進む中で、位置決め精度の向上と、ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消が重要です。不正確な位置決めは、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を持ち、高さ90mmのコンパクトな構造で、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・電子部品の実装工程 ・半導体製造工程 ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消 ・実装工程の効率化
