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【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-1040UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-514との組み合わせ
真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効です。
【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵の微小回転ステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。
【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。
[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。 [導入メリット] ・高い位置決め再現性による作業効率の向上 ・高分解能動作による微調整が可能 ・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能 詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。 □ステージ選定に役立つQ&A集を下記のリンクから無料ダウンロードできます。□
HG-VCR方式に主材質にアルミ合金を採用し剛性と軽量化を両立した手動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」に主材質アルミ合金を採用することで剛性だけでなく軽量化も両立した精密位置決めステージです。 カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。
超薄型・高耐荷重・低価格！マグネットの吸着力を利用した新しい製品。
超薄型VBステージはRoHS適合品です。従来の製品から発想を大きく変え、スマートフォン並の薄さでありながら、高耐荷重・低価格を実現。六角レンチなしでも使用可能な手動ハンドルも特別仕様で準備予定。本製品にはマグネットを使用しております。加工はフライス仕上げです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
