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短納期・高速・高精度搬送を実現するリニアモーターステージ
包装業界における搬送工程では、製品の品質保持と生産性の向上が求められます。特に、高速かつ正確な位置決めが、包装の効率を左右する重要な要素です。従来の搬送システムでは、速度や精度の限界、またはメンテナンスの頻度が高いといった課題がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、包装ラインのパフォーマンスを向上させます。 【活用シーン】 ・包装機械への部品供給 ・製品の仕分けと移動 ・高速搬送が必要な工程 【導入の効果】 ・高速搬送による生産性向上 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・短納期対応によるリードタイム短縮
光学機器の調整作業をサポートする単軸リニアモーターステージ
光学機器業界では、レンズやセンサーの位置調整において、高精度な位置決めが求められます。特に、微細な調整が必要な場面では、精度の高い位置決めステージが不可欠です。手動での調整は、時間と手間がかかり、調整誤差が生じる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度なリニアモーターを採用し、光学機器の調整作業を効率化します。 【活用シーン】 ・レンズの位置調整 ・センサーの位置調整 ・光学系の精密位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・作業時間の短縮 ・調整作業の効率化
自動車組立工程の効率化に貢献する単軸リニアモーターステージ
自動車製造業界の組立工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、部品の正確な位置決めと迅速な搬送は、生産性の向上に不可欠です。位置決めのずれや搬送の遅延は、組立不良や生産ラインの停止につながる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・車体への部品組付け ・内装部品の配置 ・検査工程での位置決め 【導入の効果】 ・組立時間の短縮 ・品質の向上 ・生産性の向上
実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ
計量・計測・品質管理工程では、測定結果の正確性と再現性が、製品品質の信頼性を大きく左右します。特に、センサや測定ユニットを用いた計量・検査工程では、位置決めのズレや動作時の揺れが測定誤差を引き起こし、品質判定のばらつきや誤判定につながる可能性があります。その結果、再検査の増加や検査工程全体の効率低下を招く要因となります。このような工程では、高精度かつ安定した繰返し動作を実現する直線駆動機構が不可欠です。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と安定した直線動作により、計量・計測・品質管理工程における測定精度と検査の信頼性向上に貢献します。重量測定、寸法検査、品質判定など、精度が求められる各種工程において、安定した計測環境を実現します。 【活用シーン】 ・寸法・形状・位置精度を測定する検査装置 ・重量・ばらつきを確認する自動計量システム ・生産ライン内インライン計測・品質確認工程 【導入の効果】 ・計測結果のばらつきを抑え、測定精度を安定化 ・検査工程の自動化により、検査時間を短縮 ・人による測定差を低減し、品質判断の属人化を解消
検査精度を、装置性能で底上げする。
エレクトロニクス検査・試験分野では、製品の微細化・高密度化に伴い、検査精度と再現性への要求が年々高まっています。特に、プローブやセンサ、カメラなどの検査ヘッドを正確に位置決めする工程では、わずかなズレや振動が測定誤差や誤判定の原因となり、品質信頼性に大きな影響を与えます。 当社のナノ精度位置決めステージは、高剛性構造による安定した直線動作と優れた繰返し位置決め精度を実現し、エレクトロニクス検査装置に求められる高精度な位置制御を支えます。安定した動作により検査条件のばらつきを抑え、信頼性の高い検査・試験環境の構築に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品・基板の外観検査装置 ・プローブを用いた電気特性検査・接触試験 ・センサ・カメラ位置決め用直線ステージ ・信頼性試験・耐久試験装置の位置決め軸 ・検査工程におけるヘッドの自動位置調整 【導入の効果】 ・検査ヘッドの位置ズレを抑制し、測定精度と再現性を向上 ・動作の安定化により、検査結果のばらつきを低減 ・高精度な直線位置決めにより、誤判定・再検査の削減 ・検査工程の信頼性向上による、品質管理レベルの底上げ
実装精度を、ラインの安定力に。電子機器製造を支える単軸リニアモーターステージ
エレクトロニクス製造・実装工程では、部品の微細化・高密度化が進む中で、位置決め精度のわずかなズレが、実装不良や品質低下につながるケースが増えています。特に、チップ搭載、検査、テーピング、搬送といった工程では、安定した直線動作と高い繰返し精度が、製造品質を左右する重要な要素となります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高剛性構造と滑らかな直線動作により、電子部品の実装・搬送・位置決め工程を高精度かつ安定して支援します。 【活用シーン】 ・実装位置ズレの低減による 不良率の抑制 ・安定した繰返し動作による 実装品質の均一化 ・振動・ブレの抑制による 高密度実装への対応力向上 ・ライン停止リスクの低減による 稼働率向上 ・自動化工程への組み込みによる 省人化・省力化 【導入の効果】 ・実装位置ズレの低減による 不良率の抑制 ・安定した繰返し動作による 実装品質の均一化 ・振動・ブレの抑制による 高密度実装への対応力向上 ・ライン停止リスクの低減による 稼働率向上 ・自動化工程への組み込みによる 省人化・省力化
高精度な位置決めを実現し、半導体製造の効率化に貢献
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの誤差は製品の品質に直接影響を与え、歩留まりを低下させる要因となります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決め性能と優れた速度制御により、半導体製造プロセスにおける位置決め精度を向上させ、歩留まりの改善に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ検査装置 ・露光装置 ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・高速動作による生産性向上 ・短納期対応によるリードタイム短縮
FPD検査工程の効率化に貢献する2軸リニアモーターステージ
FPD（フラットパネルディスプレイ）業界の検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、正確な位置制御と安定した動作が不可欠です。不正確な位置決めや遅い動作は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作を実現し、FPD検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの画質検査 ・異物検査 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の削減
高精度な医療機器製造を支える2軸リニアモーターステージ
医療機器業界における精密加工では、高い精度と信頼性が求められます。特に、微細な部品の加工や組み立てにおいては、位置決めの正確さが製品の品質を左右します。不正確な位置決めは、製品の不良や機能不全を引き起こす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度制御により、医療機器製造における精密加工の課題を解決します。 【活用シーン】 ・診断装置の部品加工 ・医療用ロボットの精密部品製造 ・医療用レーザー機器の部品加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる製品品質の向上 ・短納期化によるコスト削減 ・組み立て時間の短縮
高精度な計測を、短納期・低コストで実現する2軸リニアモーターステージ
精密測定業界では、高精度な計測が求められます。特に、微細な位置決めや正確な移動が不可欠であり、測定結果の信頼性を左右します。従来のステージでは、精度や速度、コストのバランスが課題となることがありました。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、高精度な計測を可能にします。 【活用シーン】 ・精密部品の検査 ・半導体製造装置 ・研究開発における実験 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる測定精度の向上 ・短納期での導入によるコスト削減 ・優れたコストパフォーマンス
3Dプリンターの造形精度を向上させる2軸リニアモーターステージ
3Dプリンター業界では、造形物の精度と速度が重要な課題です。特に、複雑な形状や微細な造形が求められる場合、位置決め精度の高さが不可欠です。精度の低いステージでは、造形不良や時間のロスが発生し、生産効率を低下させる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動により、3Dプリンターの造形精度と生産性を向上させます。 【活用シーン】 ・精密部品の造形 ・試作品の作成 ・複雑な形状の造形 【導入の効果】 ・造形精度の向上 ・生産性の向上 ・不良品の削減
自動車部品の検査工程を加速する、高精度2軸リニアモーターステージ
自動車業界の検査工程では、製品の品質と安全性を確保するために、高精度な位置決めと迅速な検査が求められます。特に、部品の寸法測定や外観検査においては、正確な位置決めが不可欠です。位置決めの精度が低いと、検査結果の信頼性が損なわれ、不良品の発見が遅れる可能性があります。当社のリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動を実現し、検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・自動車部品の寸法測定 ・外観検査などの検査工程 ・組み立て工程における位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の早期発見 ・コスト削減
高速フォーカス・高精度検出で微細加工の課題を解決！
半導体製造業界の微細加工においては、高精度な位置決めが不可欠です。特に、ウエハの反りや表面の微細な凹凸による焦点誤差は、加工精度を大きく左右し、歩留まりの低下や不良品の発生につながります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度により、これらの課題に対応します。高さ90mmのコンパクトな設計で、既存の装置への組み込みも容易です。 【活用シーン】 ・半導体製造における微細加工 ・ウエハの反り補正 ・高精度な位置決めが必要な工程 【導入の効果】 ・焦点誤差の解消による加工精度の向上 ・歩留まりの向上 ・装置全体の小型化 ・高速かつ高精度な位置決めによる生産性の向上
高速フォーカス・高精度検出で、実装工程の課題を解決！
電子部品実装業界では、部品の正確な配置と高品質な接合が求められます。特に、高密度実装が進む中で、位置決め精度の向上と、ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消が重要です。不正確な位置決めは、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を持ち、高さ90mmのコンパクトな構造で、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・電子部品の実装工程 ・半導体製造工程 ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消 ・実装工程の効率化
高速フォーカス・高精度検出で、組立工程の品質と効率を向上！
精密機械組立の分野では、部品の正確な位置決めと組み立てが、製品の品質と性能を左右する重要な要素です。特に、微細な部品の組み立てや、高精度な位置決めが求められる工程においては、わずかな誤差が製品の不良や性能低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を備え、精密な位置決めを可能にします。ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、組立工程の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密部品の組み立て ・光学部品の位置決め ・半導体製造装置 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・組立時間の短縮 ・不良品の削減 ・作業効率の向上
ウエッジ角度によるエラーが皆無
FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。
レーザー干渉計の高速レンズ位置決めや大口径ミラー位置決めに最適！
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
床面積を約2倍にも有効活用することができます
パレットステージとは、倉庫内部の空間利用効率化を目的とした中二階式の棚のことです。組み立て解体も容易で、工期も短く済みます。 【倉庫や工場、店舗の上部空間に必要最適な面積のラックをつくり保管効率を高めます】 倉庫の増築や拡張が困難な場合や、在庫品が増大した時、限られた床面積を約2倍に有効活用することができる積層棚・形鋼棚、パレットステージです。また、ユニット化された部材の組合わせによる自立構造で、短期間に設置できます。
最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸
光学顕微鏡の分野では、観察対象の微細構造を鮮明に捉えるために、正確なフォーカス調整が不可欠です。特に、高倍率での観察や、多光子・深部組織イメージングにおいては、ナノレベルでの焦点位置の最適化が、観察の質を大きく左右します。フォーカス調整の精度が低いと、観察像がぼやけ、正確なデータ取得が困難になる可能性があります。V-308は、最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化し、鮮明な観察像を提供します。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡での微細構造観察 ・多光子・深部組織イメージング ・大口径レンズ、長作動距離レンズの使用 【導入の効果】 ・ナノレベルでの正確なフォーカス調整による鮮明な観察像の実現 ・観察データの信頼性向上 ・実験効率の向上
最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御
レーザー加工分野では、焦点位置の精密な制御が加工品質を大きく左右します。特に微細加工や高精度マーキングにおいては、Z軸方向のわずかな焦点変動が加工幅やエネルギー密度に影響を及ぼします。 V-308 Voice Coil PIFOCは、最小10 nm分解能と最大7 mmの移動範囲を備えたZ軸フォーカスドライブです。ダイレクトドライブ方式により滑らかで高速な応答を実現し、レーザー加工ヘッドや光学系の精密なフォーカス制御をサポートします。さらに、最大1 kgまでの重力補償機能により、重量のある光学モジュールにも対応可能です。 【活用シーン】 ・レーザーマーキング装置のフォーカス制御 ・レーザー微細加工装置のZ軸位置決め ・ガルバノスキャナ光学系の焦点補正 ・研究開発用レーザー加工システム 【導入の効果】 ・焦点制御精度の向上による加工品質安定化 ・高速応答による加工プロセスの最適化 ・重量補償機能による安定した光学系制御 ・微細加工における再現性向上
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
半導体製造分野では、微細化の進展に伴い、検査・計測・露光工程におけるZ軸方向の高精度位置制御がますます重要になっています。焦点位置のわずかな変動が、検査精度やプロセス安定性に影響を及ぼす可能性があります。V-308 Voice Coil PIFOCは、最小10 nm分解能と最大7 mmの移動範囲を備えたZ軸フォーカスドライブです。最大1 kgまでの重力補償機能により、重量のある光学系や対物レンズでも安定した位置決めを実現。ダイレクトドライブ方式により、滑らかで高速な応答性と高い再現性を提供し、半導体製造装置の精密フォーカス制御をサポートします。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査装置のオートフォーカス制御 ・光学計測装置のZ軸位置決め ・マスク検査装置のフォーカス補正 ・微細パターン検査工程 【導入の効果】 ・ナノレベルのフォーカス制御による検査精度向上 ・重量補償機能による光学系の安定保持 ・高速応答による検査スループット改善 ・プロセス安定性の向上
細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ
バイオテクノロジー分野、特に顕微鏡観察や深部組織イメージングでは、対象領域を高精度にZ軸方向へ位置決めし、焦点を最適化することが重要です。V-308 Voice Coil PIFOCは、対物レンズや試料位置を 最小10 nmステップで微調整 可能な高精度フォーカスステージです。最大7 mmの調整範囲と高剛性ガイドにより、長作動距離レンズを含む多様な観察条件下でも 安定したナノポジショニング を提供します。さらに、最大1 kgまでの重量補償機能を内蔵し、対物レンズやアダプタなど重い光学系にも対応できます。 【活用シーン】 ・高倍率顕微鏡による 焦点調整 ・多光子蛍光・深部組織イメージングの Z方向スキャン ・自動化顕微鏡システムでの 高速オートフォーカス 【導入の効果】 ・ナノレベルの焦点制御による高精細画像取得 ・高剛性構造による 安定した動作と再現性向上 ・重力補償で 対物レンズ重量の影響を軽減
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
レーザー加工業界では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細加工や精密なパターン形成においては、位置ずれや振動が加工精度に大きく影響します。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、レーザー加工の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・角度依存の微細パターン加工 ・光学部品・精密部品の試作加工 ・レーザー加工プロセス開発・条件検証 【導入の効果】 ・加工精度・加工品質の向上 ・微細加工の再現性向上 ・加工プロセスの信頼性向上
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・レーザー加工 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・高速・高精度動作による生産性向上 ・幅広い分野への対応
摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。
光学機器業界では、レンズやミラーなどの精密な調整が、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、微細な位置調整が求められる場面では、精度の高いステージングシステムが不可欠です。調整の精度が低いと、光学系の性能が低下し、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。A-143 PIglideは、ナノメートルレベルの精度で位置決めを行い、光学機器の調整作業を効率化します。 【活用シーン】 ・光学レンズの位置調整 ・精密測定器のキャリブレーション ・光ファイバーアライメント 【導入の効果】 ・高精度な調整作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上
レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。
レーザー加工業界では、高品質な切断を実現するために、ワークの位置決め精度が重要です。特に、微細加工や高精度な切断が求められる場合、位置決め誤差は製品の品質に直接影響します。A-143 小型リニアエアベアリングステージは、±0.2 µmの位置精度により、レーザー加工における位置決め精度を格段に向上させ、高品質な切断を可能にします。 【活用シーン】 ・レーザーカッター ・レーザーマーキング 【導入の効果】 ・高精度な切断による製品品質の向上 ・歩留まりの向上 ・加工時間の短縮
摩擦ゼロ、±0.2 µmの高精度位置決めを実現する小型ステージ
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの精度が求められます。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や生産効率の低下につながる可能性があります。A-143 高精度リニアエアベアリングステージは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、半導体製造における高精度な位置決めニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・検査装置 ・計測機器 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・非接触構造による長寿命化 ・クリーンルーム対応による高い信頼性
摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ
精密測定の分野では、高精度な位置決めが不可欠です。特に、微細な構造の計測や検査においては、わずかな振動や誤差が測定結果に大きな影響を与えます。A-143 PIglideは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、ナノメートルレベルの精度が求められる計測用途に最適です。 【活用シーン】 ・精密測定機器 ・検査装置 ・光学機器 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・安定した計測環境の構築 ・長期的な運用コストの削減
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・露光装置 ・精密測定 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・生産性の向上
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
計測・評価分野における校正および微小位置決めでは、ナノメートルレベルの分解能と高い位置再現性が求められます。 P-752は、最大35 µmのストロークと最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾフレクシャステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作と高い真直度を実現します。 これにより、精密測定機器の校正や評価工程において、安定した微小位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正・性能評価 ・光学系のアライメントおよび位置補正 ・センサー評価・材料試験における微小変位制御 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・安定した微小変位制御による測定精度の安定化
