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高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモーター位置決めステージ
【SSA XYシリーズ リニアモーターステージ】は、 高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。 ・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm 【特長】 ■短納期 ■簡単な取付け ■優れたコストパフォーマンス ■モジュール化した設計により、組立て時間の短縮を実現 ■マルチフィールドバス通信インターフェース ■パルス列/電圧入力インターフェース ■3.2 kHzの速度応答 ■高精度位置制御 ■高精度位置トリガー出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
超小型精密ステージ
・低価格 ・超小型 ・超軽量 ・バックラッシュ無し ・貫通取り付け穴のスライダー ・X、XY、XYZ、XZ の組み合わせ自由
大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現！高い動的性能をもつナノモーションステージをご紹介
『ANT95Lシリーズ』は、25mmを超える移動距離を持つ ナノメートルレベルの位置決めシステムです。 「ANT95L」および「ANT95L-PLUS」クロスローラーステージは、速度、 精度、分解能、再現性、信頼性、およびサイズを組み合わせる上で 最高クラスであり、2つの精度グレードで提供。 リニアステージは、最大5Gの加速度、500mm/sの速度、強化された負荷容量、 幅広い構成での使用を可能にする標準化されたユニバーサルベース 取り付けパターンを利用できます。 【特長】 ■大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現 ■高解像度（1nm）、繰返し位置精度（75nm）、精度（250nm） ■1nm未満のインポジション安定性 ■クリープ防止クロスローラーベアリング ■高い動的性能 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れています！
『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。 変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能。 他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・ 透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。 【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れる ■変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コストで高性能！画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現！
『DOF-5』は、光学イメージングアプリケーション向けに最適化された 低コストで高性能なナノポジショニングステージです。 移動量（5mm）と帯域幅（225Hz以上）が大きく、画像の安定性を維持しながら 高速なステップと整定を実現。 また、ボリュームディスカウントが利用可能です。 【特長】 ■高価な顕微鏡用ピエゾステージの代替品として登場 ■ボリュームディスカウントが利用可能 ■光学イメージングアプリケーション向けに最適化 ■低コストで高性能 ■画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手動で制御する精密位置決めステージ
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。 主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。 大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。 低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)
各種測量器の自動水平設定維持や、各種センサーや測定器の自動精密水平設定に適しています
『AS-21S』は、整凖完了をLED表示できる自動精密整準台オート ステージです。 SW ONで高精度自動整凖。整凖完了後は固定できます。 AC/DC 2電源方式。傾斜±4°以内は自動整凖です。 各種機器への取付用各種アダプターを装備。各種測量器の自動水平設定維持や、 各種センサーや測定器の自動精密水平設定に適しています。 【特長】 ■SW ONで高精度自動整凖 ■整凖完了をLED表示 ■整凖完了後は固定可 ■AC/DC 2電源方式 ■傾斜±4°以内は自動整凖 ■各種機器への取付用各種アダプターを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応
FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します
工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。 この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。 これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。 このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■半導体産業向け4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
微小角度の繰り返し駆動時のバックラッシを低減！自動回転ステージ
ボールねじを使用した回転ステージ 微小角度を繰返し駆動させる用途に最適！ 【特徴】 ○高耐久性仕様 微小角度で繰返し駆動を続けると、ウォームギヤタイプでは磨耗による バックラッシが懸念されていたが、移動機構をウォームギヤ（摺動）から ボールねじ（転がり）にすることで、「高耐久性」を実現 ○加減速性能の向上 ウォームギヤに比べて摩擦（摺動抵抗）が小さいため、 スムーズな立ち上がり・加速が可能 ○バックラッシ減速 機構要素に予圧部品を用いることで、「バックラッシほぼゼロ」を実現 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
X軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
