モーターステージ - メーカー・企業5社の業務用製品ランキング

HIWIN【標準型単軸リニアモーターステージ】

■■位置決めステージ相談はHIWINへ■■様々な自動化ニーズに応用できる単軸位置決めリニアモーターステージのラインアップ

HIWINでは多様な位置決めステージをご用意しております。多様な自動化ニーズに適応する単軸ステージ標準モデルでは、高速・高精度の直接駆動のリニアモーターを採用し、長ストローク用途にも対応します。さらにメタルカバーやダストジャケット、その他オプション部品により防塵ニーズにも対応。水平or垂直のケーブルベア対応で、配線もすっきりします。すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザの競争力を高めるお手伝いをいたします。【SAシリーズ】コア付リニアモーター単軸ステージ【LMCシリーズ】コアレスリニアモーター単軸ステージ【LMTシリーズ】コアレス円筒型リニアモーター単軸ステージ【SSA】単軸リニアモーターステージ／コスパモデル ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。

企業：ハイウィン株式会社
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【技術資料】リニアモーターシステム　※無料進呈

短納期でご提供します！ハイウィンのリニアモーター位置決めステージについてご紹介

本資料はハイウィン株式会社が取り扱う「リニアモーターシステム」についてご紹介しています。標準型リニアモーターステージでは「X-Yステージ」をはじめ、「ガントリーステージ」「エアベアリングステージ」など豊富なラインアップをご用意しております。こちらの製品は短納期にてご提供いたします。【掲載内容】 ■技術情報 ■標準型リニアモーターステージ ■カスタム型位置決めステージ ■ドライバー ■付録 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：ハイウィン株式会社
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リニアモータ
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ガントリ固定型ステージ（石定盤）

石定盤上にX軸ステージ門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用　等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用　2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

企業：株式会社ウイング
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その他半導体製造装置
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ガントリ移動型ステージ　Ｇ５

角パイプ溶接構造を採用したガントリー移動型リニヤモータステージ【特徴】 ○ガントリ軸は2軸のステージを搭載しており　間にワーク受け部やコンベアを搭載　カメラ用ヘッド軸と透過照明軸という構成が　簡単に実現でき検査装置に最適 ○軽量化を実現 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用　2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

企業：株式会社ウイング
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その他半導体製造装置
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高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

企業：THKプレシジョン株式会社
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アクチュエーター
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)

高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応

V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。

企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
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その他機械要素
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エンコーダー
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ナノ精度位置決めステージ【N2ステージ】※リーフレット進呈中

ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に！

技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応えるナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。位置決め安定性は±2nmで100mm/sでの高速安定性は±0.1%。低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などに好適。モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で培った技術をあますことなく発揮し、これからのものづくりに貢献する高精度ステージです。

企業：ハイウィン株式会社
価格：応相談

半導体検査/試験装置
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PRECIBEO　エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ

標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダーの位置決めが可能です

・小型・高推力ピエゾモーター使用アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。・2nmの最小ステップ内蔵オプティカルエンコーダで最小2nm刻みでの動作が可能です。セルフロッキングシステムで電源を切ってもポジションを保持します。・3軸用コントローラーコンパクトな3軸用クローズドループコントローラーです。USB接続でWindows10から簡単に設定、操作が行えます。付属の2種類のプログラムはASCIIコマンド制御、ジョイスティックに対応します。

企業：オーテックス株式会社
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その他光学部品
ステッピングモータ
その他モータ
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高負荷リニアモーターステージ V-D07｜1000N耐荷＆高精度

長寿命・高剛性設計｜高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現

高精度な産業オートメーション向けリニアステージ。 V-D07高負荷リニアモーターステージは、産業オートメーションやレーザー加工、精密検査装置に最適な高性能プラットフォームです。アイアンコアリニアモータによるダイレクトドライブで、摩擦レスの高速・高加速度駆動を実現。最大3000mm/sの移動速度と1000Nの耐荷重を誇り、高精度リニアエンコーダによりナノメートル単位の位置決めが可能です。高負荷環境での精密動作を求める製造業に、新たな選択肢を提供します。

企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
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その他機械要素
その他産業用ロボット
ソレノイド・アクチュエータ
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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動

高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。

企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
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その他機械要素
ソレノイド・アクチュエータ
エンコーダー
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【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度を実現するFPD検査用リニアモーターステージ

FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】・FPDパネルの寸法測定・異物・欠陥検査・位置決め精度の高い検査工程【導入の効果】・検査時間の短縮・生産性の向上・検査精度の向上

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【自動車組立向け】SSA単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度！自動車組立工程の効率化に貢献

自動車組立業界では、生産効率の向上が常に求められています。特に、部品の正確な位置決めと迅速な搬送は、組立工程全体のボトルネックとなりやすい部分です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、生産性の向上を阻害する要因となっていました。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、組立工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・自動車部品の組立工程・車体への部品取り付け・検査工程での位置決め【導入の効果】・組立時間の短縮・生産性の向上・品質の安定化

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【工作機械向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

短納期・高速移動を実現する単軸リニアモーターステージ

工作機械業界では、加工時間の短縮と生産性の向上が常に求められています。特に、高速移動を必要とする用途においては、高い加速度と正確な位置決めが重要です。ボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、生産効率を阻害する可能性があります。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】 * 工作機械のテーブル移動 * 部品の高速搬送 * 高精度な位置決めが必要な加工【導入の効果】 * 加工時間の短縮 * 生産性の向上 * 高い位置決め精度の実現

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【ロボット制御向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度！ロボットの動きを最適化

ロボット業界では、正確な位置決めと高速な動作が求められます。特に、製造ラインにおける部品の搬送や組み立て作業では、高い精度と速度が生産効率を大きく左右します。従来のボールねじ方式では、加速度や速度に限界があり、ロボットの性能を最大限に引き出すことが難しい場合があります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度・短納期を実現し、ロボットの性能を向上させる最適なソリューションです。【活用シーン】・ロボットアームの精密な位置決め・部品の高速搬送・組み立て作業・検査装置【導入の効果】・ロボットの動作速度向上・生産性の向上・不良品の削減・高い信頼性

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【包装業界向け】SSA単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度搬送を実現するリニアモーターステージ

包装業界における搬送工程では、製品の品質保持と生産性の向上が求められます。特に、高速かつ正確な位置決めが、包装の効率を左右する重要な要素です。従来の搬送システムでは、速度や精度の限界、またはメンテナンスの頻度が高いといった課題がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、包装ラインのパフォーマンスを向上させます。【活用シーン】・包装機械への部品供給・製品の仕分けと移動・高速搬送が必要な工程【導入の効果】・高速搬送による生産性向上・高精度な位置決めによる品質向上・短納期対応によるリードタイム短縮

企業：ハイウィン株式会社
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【光学機器向け】単軸リニアモーターステージ

光学機器の調整作業をサポートする単軸リニアモーターステージ

光学機器業界では、レンズやセンサーの位置調整において、高精度な位置決めが求められます。特に、微細な調整が必要な場面では、精度の高い位置決めステージが不可欠です。手動での調整は、時間と手間がかかり、調整誤差が生じる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度なリニアモーターを採用し、光学機器の調整作業を効率化します。【活用シーン】・レンズの位置調整・センサーの位置調整・光学系の精密位置決め【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・作業時間の短縮・調整作業の効率化

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【自動車組立向け】HIWIN単軸リニアモーターステージ

自動車組立工程の効率化に貢献する単軸リニアモーターステージ

自動車製造業界の組立工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、部品の正確な位置決めと迅速な搬送は、生産性の向上に不可欠です。位置決めのずれや搬送の遅延は、組立不良や生産ラインの停止につながる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・車体への部品組付け・内装部品の配置・検査工程での位置決め【導入の効果】・組立時間の短縮・品質の向上・生産性の向上

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【検査装置・測定装置向け】HIWIN 単軸リニアモーターステージ

実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ

計量・計測・品質管理工程では、測定結果の正確性と再現性が、製品品質の信頼性を大きく左右します。特に、センサや測定ユニットを用いた計量・検査工程では、位置決めのズレや動作時の揺れが測定誤差を引き起こし、品質判定のばらつきや誤判定につながる可能性があります。その結果、再検査の増加や検査工程全体の効率低下を招く要因となります。このような工程では、高精度かつ安定した繰返し動作を実現する直線駆動機構が不可欠です。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と安定した直線動作により、計量・計測・品質管理工程における測定精度と検査の信頼性向上に貢献します。重量測定、寸法検査、品質判定など、精度が求められる各種工程において、安定した計測環境を実現します。【活用シーン】・寸法・形状・位置精度を測定する検査装置・重量・ばらつきを確認する自動計量システム・生産ライン内インライン計測・品質確認工程【導入の効果】・計測結果のばらつきを抑え、測定精度を安定化・検査工程の自動化により、検査時間を短縮・人による測定差を低減し、品質判断の属人化を解消

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【電子機器・電子部品向け】単軸リニアモーターステージ

実装精度を、ラインの安定力に。電子機器製造を支える単軸リニアモーターステージ

エレクトロニクス製造・実装工程では、部品の微細化・高密度化が進む中で、位置決め精度のわずかなズレが、実装不良や品質低下につながるケースが増えています。特に、チップ搭載、検査、テーピング、搬送といった工程では、安定した直線動作と高い繰返し精度が、製造品質を左右する重要な要素となります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高剛性構造と滑らかな直線動作により、電子部品の実装・搬送・位置決め工程を高精度かつ安定して支援します。【活用シーン】・実装位置ズレの低減による不良率の抑制・安定した繰返し動作による実装品質の均一化・振動・ブレの抑制による高密度実装への対応力向上・ライン停止リスクの低減による稼働率向上・自動化工程への組み込みによる省人化・省力化【導入の効果】・実装位置ズレの低減による不良率の抑制・安定した繰返し動作による実装品質の均一化・振動・ブレの抑制による高密度実装への対応力向上・ライン停止リスクの低減による稼働率向上・自動化工程への組み込みによる省人化・省力化

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【半導体製造向け】SSA XYリニアモーターステージ

高精度な位置決めを実現し、半導体製造の効率化に貢献

半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの誤差は製品の品質に直接影響を与え、歩留まりを低下させる要因となります。SSA XYシリーズリニアモーターステージは、高精度な位置決め性能と優れた速度制御により、半導体製造プロセスにおける位置決め精度を向上させ、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・ウエハ検査装置・露光装置・半導体製造装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・高速動作による生産性向上・短納期対応によるリードタイム短縮

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【FPD検査向け】SSA XYリニアモーターステージ

FPD検査工程の効率化に貢献する2軸リニアモーターステージ

FPD（フラットパネルディスプレイ）業界の検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、正確な位置制御と安定した動作が不可欠です。不正確な位置決めや遅い動作は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。SSA XYシリーズリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作を実現し、FPD検査工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・FPDの画質検査・異物検査・寸法測定【導入の効果】・検査時間の短縮・検査精度の向上・不良品の削減

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【医療機器向け】SSA XYリニアモーターステージ

高精度な医療機器製造を支える2軸リニアモーターステージ

医療機器業界における精密加工では、高い精度と信頼性が求められます。特に、微細な部品の加工や組み立てにおいては、位置決めの正確さが製品の品質を左右します。不正確な位置決めは、製品の不良や機能不全を引き起こす可能性があります。SSA XYシリーズリニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度制御により、医療機器製造における精密加工の課題を解決します。【活用シーン】・診断装置の部品加工・医療用ロボットの精密部品製造・医療用レーザー機器の部品加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる製品品質の向上・短納期化によるコスト削減・組み立て時間の短縮

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【精密測定向け】SSA XYシリーズリニアモーターステージ

高精度な計測を、短納期・低コストで実現する2軸リニアモーターステージ

精密測定業界では、高精度な計測が求められます。特に、微細な位置決めや正確な移動が不可欠であり、測定結果の信頼性を左右します。従来のステージでは、精度や速度、コストのバランスが課題となることがありました。SSA XYシリーズリニアモーターステージは、これらの課題を解決し、高精度な計測を可能にします。【活用シーン】・精密部品の検査・半導体製造装置・研究開発における実験【導入の効果】・高精度な位置決めによる測定精度の向上・短納期での導入によるコスト削減・優れたコストパフォーマンス

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【3Dプリンター向け】SSA XY リニアモーターステージ

3Dプリンターの造形精度を向上させる2軸リニアモーターステージ

3Dプリンター業界では、造形物の精度と速度が重要な課題です。特に、複雑な形状や微細な造形が求められる場合、位置決め精度の高さが不可欠です。精度の低いステージでは、造形不良や時間のロスが発生し、生産効率を低下させる可能性があります。SSA XYシリーズリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動により、3Dプリンターの造形精度と生産性を向上させます。【活用シーン】・精密部品の造形・試作品の作成・複雑な形状の造形【導入の効果】・造形精度の向上・生産性の向上・不良品の削減

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【自動車検査向け】リニアモーターステージ

自動車部品の検査工程を加速する、高精度2軸リニアモーターステージ

自動車業界の検査工程では、製品の品質と安全性を確保するために、高精度な位置決めと迅速な検査が求められます。特に、部品の寸法測定や外観検査においては、正確な位置決めが不可欠です。位置決めの精度が低いと、検査結果の信頼性が損なわれ、不良品の発見が遅れる可能性があります。当社のリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動を実現し、検査工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・自動車部品の寸法測定・外観検査などの検査工程・組み立て工程における位置決め【導入の効果】・検査時間の短縮・検査精度の向上・不良品の早期発見・コスト削減

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【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07

光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ

レーザー微細加工では、ワークのわずかな位置ずれが加工品質に大きく影響するため、高精度かつ安定した位置決めが求められます。特に、半導体材料、ガラス、フィルムなどの微細加工では、ナノメートルレベルでの精密な位置制御が重要です。 V-D07 高負荷リニアモーターステージは、高精度リニアエンコーダとリニアモータダイレクトドライブにより、ナノメートルレベルの高精度位置決めと高速動作を実現。レーザー微細加工装置の高精度ステージとして、安定した加工プロセスをサポートします。【活用シーン】・レーザー微細加工装置の精密位置決め・半導体・電子部品のレーザー加工・ガラス・フィルムのレーザー加工・光学部品のアライメント調整【導入の効果】・ナノメートル単位での精密な位置決めが可能・摩擦レス駆動によるスムーズな動作・高負荷環境下での安定した動作

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【研究開発向け】高精度Z軸ボイスコイルモーターステージV-Z03

高速応答＆高剛性で、サブミクロン単位の精密Z軸制御を実現

研究開発分野における実験では、精密な位置決めと安定した動作が不可欠です。特に、微細構造の観察や精密加工においては、Z軸方向の正確な制御が実験の成否を左右します。従来のステージでは、位置決めの精度や応答速度に課題があり、実験の効率を低下させる要因となっていました。V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速かつ高精度なZ軸制御を実現します。【活用シーン】・産業・研究分野での精密位置決め・半導体検査【導入の効果】・サブミクロン単位の精密な位置決め・実験時間の短縮・実験精度の向上・多様な実験への対応

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【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855

高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化

研究開発分野の実験では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に微細構造の観察や精密加工、材料評価などの実験では、位置決め精度が測定結果や実験の再現性に大きく影響します。 V-855は、リニアモータによるダイレクトドライブと高精度リニアエンコーダを備えた高速リニアステージです。0.1 µmの最小インクリメンタルモーションと最大4,000 mm/s（4 m/s）の高速動作により、精密な位置決めと高速搬送を両立します。さらに最大800 mmの長ストロークにより、大型試料の測定やスキャン測定など、研究開発装置における幅広い実験用途に対応します。【活用シーン】・精密測定・微細加工・光学実験・材料試験【導入の効果】・実験の再現性向上・測定精度の向上・作業効率の向上・実験時間の短縮

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【半導体製造向け】SSA単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度な位置決めを実現

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハやマスクの位置決めは、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、生産性の向上を妨げる要因となっていました。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決めを実現し、半導体製造における生産性向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・レーザー加工【導入の効果】・生産性の向上・品質の向上・コスト削減

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【研究機関向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

短納期・高速・高精度！実験の効率化を加速

研究機関における実験では、精密な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な調整が必要な実験や、短時間で多くのデータを取得する必要がある場合、ステージの性能が実験の成否を左右します。ボールねじ方式のステージでは、加速度や速度に限界があり、実験の効率を妨げることがあります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、実験の効率化に貢献します。【活用シーン】・精密測定・自動化された実験装置・高速撮像【導入の効果】・実験時間の短縮・データ取得量の増加・実験精度の向上

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HIWIN【標準型単軸リニアモーターステージ】

【技術資料】リニアモーターシステム　※無料進呈

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

ガントリ移動型ステージ　Ｇ５

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)

ナノ精度位置決めステージ【N2ステージ】※リーフレット進呈中

PRECIBEO　エンコーダー内蔵ピエゾモーターステージ

高負荷リニアモーターステージ V-D07｜1000N耐荷＆高精度

高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動

【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

【自動車組立向け】SSA単軸リニアモーターステージ

【工作機械向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

【ロボット制御向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

【包装業界向け】SSA単軸リニアモーターステージ

【光学機器向け】単軸リニアモーターステージ

【自動車組立向け】HIWIN単軸リニアモーターステージ

【検査装置・測定装置向け】HIWIN 単軸リニアモーターステージ

【電子機器・電子部品向け】単軸リニアモーターステージ

【半導体製造向け】SSA XYリニアモーターステージ

【FPD検査向け】SSA XYリニアモーターステージ

【医療機器向け】SSA XYリニアモーターステージ

【精密測定向け】SSA XYシリーズリニアモーターステージ

【3Dプリンター向け】SSA XY リニアモーターステージ

【自動車検査向け】リニアモーターステージ

【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07

【研究開発向け】高精度Z軸ボイスコイルモーターステージV-Z03

【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855

【半導体製造向け】SSA単軸リニアモーターステージ

【研究機関向け】SSA 単軸リニアモーターステージ

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