SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○最大100mmのロングレンジ走査 →圧電素子を用いた小型高精度のSPPAアクチュエータを駆動源として搭載し、15mm、35mmのストロークを標準で揃えています。最大100mmまで対応します。 →通常の観察やマッピング測定においては十分な移動速度10mm/secを確保し、ガイド機構に沿って広範囲な領域をスキャンすることができます。 ○20nmステップの高分解能 →リニアスケールを内蔵しクローズドループ制御によって、走査範囲全域において20nmの高分解能で再現性良く位置決めが可能です。 →顕微鏡やCCDカメラなどによる観察を目的とした試料走査にはセンサ無しのオープンループとして動作させることもできます。 ○RS232Cで制御が簡単 →制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。 →移動コマンドで指定移動量を送るだけで目的の場所へ高精度に位置決めを実行します。 →ステータスやアラームを読み取ることでステージの状態をモニタすることができます。 ●その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格情報
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納期
※納期目安 約1～1.5ヶ月
用途／実績例
【用途】 ○顕微鏡試料テーブル ○SEM／TEM試料テーブル ○分析機器試料テーブル ○ウェハマッピング測定 ○プローバステージ ○高精度アライメント ○光学部品の高精度位置決め その他詳細はお問い合わせください。
ラインアップ（5）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TS1L80-015A | ＜X軸ステージ＞ストローク：15mm、分解能：20nm |
| TS1L120-035A | ＜X軸ステージ＞ストローク：35mm、分解能：20nm |
| TS2L180-015A | ＜XY軸ステージ＞ストローク：15mm、分解能20nm |
| TS1R150-360A | ＜回転ステージ＞回転角度：360°、分解能1 |
| TC1300A | 超音波モータステージ専用の制御コントローラ |
カタログ（1）
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
