更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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お客様のご要望に沿って、圧力・流量レンジ・精度・サイズ・出力形式・接続方法など対応できます。
台湾の鹿港にあるSensormate社の圧力・流量(フロー)・風速センサラインアップになります。 Sensormate社の基板実装型センサは、ラインナップとは別に圧力・流量・風速の各センサをお客様のご要望に沿ったカスタマイズ製品を提供することに可能です。※ラインアップからご要望特性に合わせることもできます。 自社工場にて設計から検査まで一貫しているため、低価格・短納期・少量生産に加え、特性のカスタマイズ・コネクタなどのオプション製造も承ります。 そのため、お客様のパッケージング時の設計コスト削減やわざわざ他部品の調達する手間なども省くことができます。 是非、まずは簡単にご要求事項をお問い合わせください。
主な市場： 風力エネルギー、土木工学、鉄道、自動車、農業、航空宇宙
ASCの5411LNおよび5415LN加速度計は、54シリーズ加速度計の中で最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCの5421MFおよび5425MF加速度計は、0Hzから7kHz（typ。±3dB）までの広い周波数応答を持ち、中低周波測定に最適です。 ASCのMF（中周波）加速度センサーは、6000gという高い繰返し衝撃に対して優れた耐性をもち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。
主な利用市場: 自動車、農業、風力エネルギー、土木、鉄道、航空宇宙
ASCの5511LNおよび5515LN加速度計は、55シリーズ加速度計の最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCの5521MFおよび5525MF加速度計は、0Hzから7kHz（typ。±3dB）までの広い周波数応答を持ち、中低周波測定に最適です。 ASCのMF（中周波）加速度センサーは、6000gという高い繰返し衝撃に対して優れた耐性を持ち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。 ASC 55シリーズのハウジングには、ケーブル出口部にPGネジがあります。
主な市場：土木工学、鉄道、測地学、再生可能エネルギー
ASCの傾斜センサは、地球の重力が測定される加速度である静的加速度を測定します。 このセンサは、MEMS容量性加速度計検出素子に基づいており、 傾斜度の変化は、加速度計に作用する重力の変化する成分による加速度の変化に対応しています。 加速度計は±2Vのフルスケール出力で±1gの加速度を受けます。 高感度の低g加速度計は、傾斜測定の最高分解能をもっており、 傾斜センサから出力されるアナログ電圧は、傾斜度に変換することが可能です。 傾斜センサは、優れた長期バイアス安定性（0.1°）と高分解能（0.005°）を備え、テスト結果においてバイアスの低温度係数も安定しています。 衝撃制限が高い-40℃〜+ 120℃の広い温度範囲で最高の作業が可能です。さらに、IP68定格のステンレススチール製のハウジングは過酷な用途にも使用できます。
リモート監視により設置環境を「見える化」して、スマートメンテナンスを実現します。
温度／湿度／絶縁抵抗／振動を測定できる複合環境センサです。 MES-12／MES-13をリニューアルして、より高精度計測が可能となりました。 振動・塩害を含む環境の設備監視に最適です。 電気機器は、さまざまな条件で使用され、その寿命は、設置環境、負荷状況、保全状況などの影響を受けます。 機器の設置環境を常時監視・把握することで機器寿命を推定、環境の改善や適切なメンテナンスを可能とします。 複合環境センサMESシリーズは、得られた環境データに基づき、スマート化および最適な設備メンテナンス省力化に寄与します。 機能・特長 ・温度/湿度高精度測定を実現します ・温度・湿度測定結果に基いた空調機器制御が可能です ・通信データ自動収集機能できます ・振動絶縁抵抗センシングが可能です ・データロギング数は最大32000点です ・小型、軽量です ・DINレールで簡単設置できます
小流量の測定も可！タービン・チューブの交換が簡単＆衛生性に優れる使い捨てタイプ
『シングルユース流量センサ』は、エクフロー社が開発した小流量の 測定に最適な流量センサです。 シンプルなデザインなのでタービン・チューブが簡単に交換でき、 材質はPFAもしくはPVDFなので耐食性に優れています。 使い捨てタイプの流量センサは、衛生面が重要視される製薬、医学、 バイオテクノロジーで、時間とコスト節約の面からも多く採用されています。 【特長】 ■不透明な液体の流量計測も可能 ■高解像度の方形波信号出力 ■タービン・チューブを140℃まで滅菌できる ■洗浄工程なし ■設計変更などに対応 ★今なら「流量センサの正しい選び方」を解説した技術資料とハンドブックを進呈中！★ ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
実績が豊富なハーフミラーをご提案します。 光線を任意に、反射光線と透過光線へ分割する機能性ハーフミラーです。
【１】こんなことにお困りではありませんか？ ◆透過率と反射率の度合いを変更できるでしょうか？ ◆角度によって見え方が変わるので工夫出来ませんか？ ◆誘電体でも、設計や成膜は可能でしょうか？ ◆入射角の幅があるので、考慮できますでしょうか？ ◆形状が特殊だけど、部品として出荷可能ですか？ 【２】安達新産業製ハーフミラーの特徴 光線を任意に、反射光線と透過光線へ分割する機能性ハーフミラーです。誘電体を多層に成膜することで、吸収が極めて少なく、また光損失が極めて小さく出来ることから、金属膜を使用した場合に比べて高効率の光分割が可能です。 FAセンサをはじめとした各種機器への搭載実績が多い製品です。
ASC 43シリーズ 静電容量型加速度センサ（1軸） 主な市場：自動車、農業、航空宇宙、風力エネルギー、土木工学、鉄道
ASCの4311LNおよび4315LN加速度計は、43シリーズ加速度計の中で最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCの4321MFおよび4325MF加速度計は、0 Hz〜7 kHz（±3dB typ。）の広い周波数応答を持ち、低〜中周波測定に最適です。 ASCのMF（中周波）加速度センサーは、6000gという高い繰返し衝撃に対して優れた耐性を持ち、 +5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。
ASC 35シリーズ加速度センサ 主な市場：土木工学、鉄道、自動車、農業、航空宇宙
ASCの3511LN加速度計は、35シリーズ加速度計の中で最も低いスペクトルと広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCの3532MF加速度計は、0 Hz〜7 kHz（typ。±3dB）までの広い周波数応答を持ち、低〜中周波測定に最適です。 ASCのMF（中周波）加速度センサーは、6000gという高い繰返し衝撃に対して優れた耐性を持ち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。 3511LNおよび3521MFのハウジングには、ケーブル出口にPGねじがあります。
ASC 44シリーズ 静電容量型加速度センサ（1軸） 主な市場：自動車、農業、航空宇宙、風力エネルギー、土木工学、鉄道
ASCの4411LNおよび4415LN加速度計は、44シリーズ加速度計の中で最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCの4421MFおよび4425MF加速度計は、0 Hz〜7 kHz（±3dB typ。）の広い周波数応答を持ち、中低周波測定に最適です。 ASCのMF（ミディアム・フリケンシー）ACE-LERメーターは6000gという高い反復衝撃に対して優れた耐性を持ち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。
主な市場：風力エネルギー、海洋、土木工学、鉄道、自動車、農業
ASCのOS-115LNおよびOS-115LN-PG加速度計は、OSシリーズの加速度計の中で最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は優れた信号対雑音比を持っています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCのOS-125MFおよびOS-125MF-PG加速度計は、0Hz〜7kHz（typ。±3dB）までの広い周波数応答を持ち、低〜中周波測定に最適です。 ASCのMF（ミディアム・フリークエンシー）加速度計は6000gという高い反復衝撃に対して優れた耐性を持ち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。 ASC OS-115LNおよびOS-125MFには取り外し可能なケーブルが付いています。 ASC OS-115LN-PGおよびOS-125MF-PGにはケーブルが組み込まれています。
主な市場：風力エネルギー、海洋、土木工学、鉄道、自動車
ASCのOS-215LN二軸およびOS-315LN三軸加速度計は、最も低いスペクトルおよび広帯域ノイズを備えています。 ASCのLN（Low-Noise）加速度計は、優れた信号対雑音比を備えています。これは厳しい低周波、低振幅測定を実行する上で重要です。 ASCのOS-225MFおよびOS-325MF加速度計は、0Hz 7kHz（±3dB typ。）で、中低周波測定に最適です。 ASCのMF（ミディアム・フリークエンシー）加速度計は、6000gという高い反復衝撃に対して優れた耐性を持ち、+ 5VDCの低電圧でも+ 125℃まで動作することができます。 二軸および三軸のASC OSシリーズには、ケーブルが組み込まれています。
最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定！全ての表面に対応します
『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um～10mmまでご用意しております。 【特長】 ■コンパクト ■表面依存無 ■最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定 ■形状に依存無 ■プローブヘッドは200um～10mmまで用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンシューマー向け！色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲載しています
当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。 光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、 厚み測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と 部品配置の測定などについてご紹介しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン） ・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定 ・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状 ・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査 ・色収差ラインスキャンカメラによるキズ・欠陥寸法検査 ・溶接の品質管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
必要機器をパッケージ化することで、煩わしい現地調査や設計プロセス不要で見える化をはじめられます！
見える化システムをよりお手軽に取り入れていただけるよう、 屋内向けプラボックスの中にシステム構築に必要な機器を集約、パッケージ化した「ゲートウェイBOX」としてご提供！ 「ゲートウェイBOX」と「PALシリーズセンサー」(必要数)、「バスケーブル」を ご用意いただくだけですぐに見える化をはじめることができます。 【これまでは？】 ・システム導入のための現地調査に稼働がかかる ・設備ごとに収容ボックスなどの機器設計が必要なため、時間もお金もかかる 【ゲートウェイBOXなら！】 1. 簡単な設定をして 2. ゲートウェイBOXとPALシリーズセンサーを接続・設置するだけでOK ｜煩わしい現地調査や設計プロセス不要で見える化環境を構築できます｜ 【ゲートウェイBOX 内容】 ・PUSHLOG×1台 ・電源×1台（PUSHLOG、PALシリーズセンサー駆動用） ・AC100Vプラグ×1つ 「まずは見える化をはじめてみたい」というお悩みに適した、小規模・トライアル的なシステム導入プランです！ ※PUSHLOGは株式会社GUGEN様の製品です。
射出成形機金型に取り付けて成形中の樹脂温度を直接検出できる温度センサ。成形品にセンサを直接当てて温度を測定
成形時の成形品の不良解析に貢献 射出成形機の成形中（金型内）の樹脂温度は、品質・高効率化に欠かせない要因です。キャビサーモは金型に取り付けて、成形中の樹脂温度を直接検出するセンサです。 キャビサーモは、正常時プロファイルとの比較による良否の判定が成形時の段階で可能です。検査作業工数削減、初期段階での不良発見につながります。 直接タッチ温度測定で速い応答性 高速充填成形でも、レスポンス良く成形中の樹脂温度変化を測定できます。小型でキャビティ・ランナーから出っ張らず、樹脂の温度を直接タッチで高速に測定できます。 変換器を用意 キャビサーモで測定した温度を4～20mA、0～10Vなどの伝送出力に変換し、オシロスコープなどに接続して温度推移解析ができます。 イベント出力と通信機能を搭載し、外部シーケンスとの連携が可能です。
Wi-Fiネットワークを利用した保管機器の温度監視
【エアロスカウト温度管理の仕組み】 超低温フリーザー、液体窒素タンク、冷蔵庫など、温度管理をしたい機器に温度(温湿度)センサーを取り付けます。 エアロスカウトが提供する温度(温湿度)センサーは、1分から数十分に一度、設定した間隔で測定データをWi-Fi電波で送信します。無線LANアクセスポイントで電波を受信することで対象の温度(温湿度)の状況をリアルタイムに収集します。 ▼エアロスカウト導入の効果 ●効率向上 T15eタグはリアルタイムで温度計測と温度逸脱のアラート通知を行うため、業務の効率が大幅に向上します。 ●時間削減 従来の手作業による温度監視をリアルタイムでの自動監視と文書化に変更することで、スタッフが温度監視に費やす時間を削減しました。 ●法令順守 州保健局、JC、CDC、CAPなどの機関向けに、医薬品、ワクチン、血液製剤などの保管装置の規制遵守を証明するレポートを容易に作成できるようになりました。
複合気象センサー（日射・温度湿度・気圧）/M761WS-412UMBS、温湿度センサー、気圧センサーが1ユニットで計測できます。
センサー一体型のコンパクトボディで設置が容易に行えます。 データ出力はRS485、SDI-12、MODBUSに対応しています。 オプションで日本語対応ソフトウェア、アナログ出力等も可能。
M761WS-611UMBSは超音波風向風速計、温湿度、気圧が1ユニットで計測できます。
センサー一体型のコンパクトボディは設置が容易に行えます。 データ出力はRS485、SDI-12、MODBUSに対応しています。 オプションで日本語ソフトウェア、アナログ出力、他に各種データロガーへの入力も可能です。
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 ■高分解能（サブミクロン 最小1nm） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検査、セパレーター厚みやコーティング厚みの測定等の実績豊富！
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 シングルポイントセンサでは、低価格向けの製品（CHRcodile C, CHRocodile Mini)も２種類用意しています 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。
新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um) ■高分解能（サブミクロン 最小1nm） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。
標準タイプS100Dと広角タイプS110Dを選択可能。ロボットからサイネージまで幅広く活躍する小型ToFセンサー
S.Cube（S100D）とWide Eye（S110D）は、i-ToF方式を採用した小型・低消費電力の3D-ToFセンサーです。 S100Dは0.2～4m対応の標準モデルで、60×15×10mmのコンパクト設計とFoV 60°×45°により、近距離での安定した計測が可能。 S110Dは0.2～2m対応の広角モデルで、63×15×20mmの筐体とFoV 90°×68°を備え、広範囲の検知が求められる用途に適しています。 両モデルとも自社開発チップMR1000を搭載し、高精度・低消費電力・価格競争力を両立。 物流・サービスロボット、FA機器、セキュリティ機器、デジタルサイネージなど幅広い分野で活用可能です。 SDKや資料も提供され、PoCから量産導入まで短期間での検証と実装をサポート。インタコンポが国内で評価から量産まで一貫支援します。
高能力作業 自動化への鍵 ！ロボットに取り付けることで、力の感覚を持たせることができるセンサ。
三次元空間における縦・横・高さ方向の力（Fx,Fy,Fz）と、その方向を中心に回転する力（Mx,My,Mz）を同時に計測できるセンサです。 ZYXer（ジクサー）を取り付けることでロボットに力の感覚を持たせることができます。 既存の力覚センサでは不可能だった繊細なロボットの動きを実現します。 ●アームの速度に負けない高い定格モーメント ●温度ドリフトが小さく、暖機運転が短い ●非直線性、他軸干渉性に優れ、再現性が高い ●出力信号のノイズが小さいため、ノイズフィルタの設定が不要 ●定格50～10000Nまで幅広いラインアップ ●ハイエンドモデルは最小検出荷重0.005Nの高精度 ●お客様の用途に応じ、適切な筐体材料と構成をご提案
熟練者の技術を数値化！省人化で人材不足を解消！
三次元空間における縦・横・高さ方向の力（Fx,Fy,Fz）と、その方向を中心に回転する力（Mx,My,Mz）を同時に計測できるセンサです。 ZYXer（ジクサー）を取り付けることでロボットに力の感覚を持たせることができます。 既存の力覚センサでは不可能だった繊細なロボットの動きを実現します。 ●アームの速度に負けない高い定格モーメント ●温度ドリフトが小さく、暖機運転が短い ●非直線性、他軸干渉性に優れ、再現性が高い ●出力信号のノイズが小さいため、ノイズフィルタの設定が不要 ●定格50～10000Nまで幅広いラインアップ ●ハイエンドモデルは最小検出荷重0.005Nの高精度 ●お客様の用途に応じ、適切な筐体材料と構成をご提案
微小の力を検出可能に！自動化の鍵になる！
三次元空間における縦・横・高さ方向の力（Fx,Fy,Fz）と、その方向を中心に回転する力（Mx,My,Mz）を同時に計測できるセンサです。 ZYXer（ジクサー）を取り付けることでロボットに力の感覚を持たせることができます。 既存の力覚センサでは不可能だった繊細なロボットの動きを実現します。 ●アームの速度に負けない高い定格モーメント ●温度ドリフトが小さく、暖機運転が短い ●非直線性、他軸干渉性に優れ、再現性が高い ●出力信号のノイズが小さいため、ノイズフィルタの設定が不要 ●定格50～10000Nまで幅広いラインアップ ●ハイエンドモデルは最小検出荷重0.005Nの高精度 ●お客様の用途に応じ、適切な筐体材料と構成をご提案
ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現
当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
セトラ社、超微差圧０～２５Ｐａから豊富な圧力レンジで３種類の精度をがあり、ＤＩＮレール取付型も準備。現場の作業を容易にします。
セトラ社、超微差圧０～２５Ｐａフルスケールから豊富な圧力レンジで精度は±０．２５％、±０．５％、±１％ＦＳの３種類用意されており用途により選択が出来ます。オプションで圧力表示器も選択可能です。出力信号は一般的な４～２０ｍＡを採用しています。ＤＩＮレール取付タイプもあり設置作業が容易に行え、本体から配線端子台が取り外し出来るので現場での配線作業が簡単行えます。内部安定化電源の採用で非安定化電源でも使用可能です。配線事故を防ぐ為に逆配線保護回路が内蔵されています。ケースには難燃性材質の採用をし、ＵＬ－９４－０承認を受けています。
衝撃や振動、温度等の過酷な環境に対し堅牢なAbsolute Displacement Sensorを提供します。
この絶対変位センサは、小型で、油圧シリンダ、空圧シリンダ内にも収まります。加えて、車両、鉄道、建設機械に搭載するために車両用油圧シリンダ、建設機械用油圧シリンダ、農業機械用油圧シリンダ、アクチュエータ向けに衝撃テスト、振動テスト、温度テスト等の過酷なテストを重ねて特別に開発された非接触で高信頼性のアブソリュートポジションセンサです。
サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 ■広範囲エリアの非接触３次元形状測定 最大8.3mmのライン幅 ■広い許容角度 反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能 ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
