3次元TCAD
実用的な3次元シミュレーションへのアプローチの方法
クロスライトのTCADを利用した3次元プロセス、デバイスシミュレーション。メッシュ生成、デバイス構造の作りこみ、解析などを各種デバイス(CMOSイメージセンサー、LDMOS、FINFET、DMOS、LIGBT)を例にその機能やしくみを紹介。また、GPUによるシミュレーションについても紹介。
- 企業:クロスライトソフトウェアインク日本支社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年08月19日~2026年09月15日
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実用的な3次元シミュレーションへのアプローチの方法
クロスライトのTCADを利用した3次元プロセス、デバイスシミュレーション。メッシュ生成、デバイス構造の作りこみ、解析などを各種デバイス(CMOSイメージセンサー、LDMOS、FINFET、DMOS、LIGBT)を例にその機能やしくみを紹介。また、GPUによるシミュレーションについても紹介。
落下・衝突のような非線形性の強い問題を高速・高精度に解くことが可能です。
Ansys LS-DYNAは、落下・衝突をはじめとした非線形時刻歴応答解析専用ツールです。 陰解法ソルバーを採用した一般的な有限要素法解析ツールとは異なり、収束計算を必要としない陽解法ソルバーを採用、落下・衝突のような非線形性の強い問題を高速・高精度に解くことが可能です。 【特徴】 ○非線形時刻歴応答解析専用ツール ○様々な接触の形態が扱える ○接触時の摩擦をモデル化できる ○2D および3Dの陽解法要素をサポート ○ロバストなテクノロジーから構成されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 <Ansysの個人情報の取り扱いについて> 登録することにより、この プライバシー通知 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/terms-and-conditions) に準拠して、この事象/資産および関連するコミュニケーションを提供する目的で、これらの 条件 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/privacy-notice)および個人データの処理に同意したことになります。
『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
DX を加速させる 3D(3 次元)CAD ソリューション
Creo は 30 年以上にわたって製品設計および開発ソフトウェアの業界標準となっている 3D CAD(3 次元キャド)ソフトウェアです。 ハイエンドな機能を、お客様のニーズに合わせてご提供いたします。 設計業務で、このようなお悩みはありませんか? ・DX 化の波についていけない 業界的に「製造業の DX 化」が重要と言われているものの、具体的にどうアクションしていけばよいのかわからない ・解析に時間や手間がかかる 重量や重心だけでなく、応力解析や熱解析、流体解析などの解析業務をもっとスムーズに実行できないだろうか ・単純ミスが多い 経験の浅い社員も多く、干渉チェックにひっかかる→図面修正のための手戻りで工数が増えている気が… ・業務効率に疑問 設計を 3 次元 CAD でデジタル化するものの、あとから 2D で図面を起こすため、後工程でデータの活用ができない そのお悩み、PTC の Creo が解決いたします。3D モデリングから解析などのモジュールまであらゆる機能を取り揃え、3D-2D 連携やデータ管理にも適した設計アプリケーションスイートです。
洪水モデリングソフト – 河川・都市・沿岸ハザードを網羅する2D解析ソリューション『FLO-2D Pro』
『FLO-2D Pro』は、 河川・都市・沿岸・ダム決壊・土砂流など 多様な水害シナリオを 高精度かつ GIS 連携で二次元シミュレーションできる 総合洪水モデリングソフトウェアです。 【機能】 ■河川氾濫解析では、河道から平野部への越水挙動を動的波方程式で再現し、深度・流速グリッドを出力します。 ■降雨流出シミュレーションにより、流域降雨を時間分布に変換して下流への洪水波伝播を計算します。 ■都市内水モデルは、道路冠水や建物障害物を考慮しつつ、地表流と雨水管渠の連成挙動を解析します。 ■高潮・津波遡上機能は、海岸線境界に時系列水位を与えて陸域への浸水拡大を二次元で評価します。 ■ダム・堤防決壊モジュールは、破口成長パラメータを設定して下流氾濫波の到達時間とピーク深度を算出します。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
粒子破砕の例、Mechanicalとの連成例、CFD連成手法などについてご紹介!
当資料では、粒子流れの挙動を迅速かつ正確に解析する、忠実度の高い 粒子シミュレーションソフトウェア『Ansys Rocky』を掲載しております。 多数の粒子を高速に解析する、マルチGPU処理といった「採用すべき理由」 や混合効率の予測などの「アプリケーション例」についてご紹介。 巻末には、ケーススタディも掲載されており、参考にしやすい一冊と なっております。是非、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■離散要素法(DEM:Discrete Element Method)とは ■Ansys Rockyとは ■従来のDEMからの発展:離散固体/流体力学シミュレーション ■Ansys Rockyを採用すべき理由 ■複数の粒子形状 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ユーザー独自のライブラリも作成可能!基本的な熱・油圧シミュレーション
『GT-SUITE』を使用してすべての種類の燃料噴射、油圧のコンポーネント、 システムを設計・解析・最適化することができます。 コンポーネントの詳細モデリングは、流体構造の相互作用をモデル化する、 柔軟でよりハイレベルな流体・機械テンプレート(FMT)を使用して 容易に行うことができます。 テンプレートを利用すれば、任意の噴射・油圧式モデルを短時間で作成でき、 操作が簡単なグラフィカルプログラミング法やユーザーサブルーチンを使用して、 ユーザー独自のライブラリも作成することができます。 【アプリケーション例】 ■燃料噴射 ・コモンレール、直噴・ポート噴射、ユニットインジェクタ、ポンプラインノズル ・高圧・低圧システムとそれぞれの相互作用 ・ディーゼル、ガソリン、その他代替燃料(E85、DME、LPGなど) ・ソレノイド、ピエゾ、電気・油圧式、または機械式のアクチュエーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乗用車や大型車、建築物や環境の空力特性を超高速で予測するシミュレーションツール
ultraFluidXは、乗用車や大型車、建築物や環境の空力特性を超高速で予測するシミュレーションツールです。ultraFluidXを使用すれば、非常性の強い空力シミュレーションを1基のサーバーだけで一晩で完了できます。地上輸送車両、建築、エンジニアリング、建設構造から個々のアプリケーションまで、設計者はultraFluidXを用いて流体力学を理解し、革新的な構造を調査して効率を向上させ、ユーザーの快適性を高め、安全なプロジェクトを期限内に提供できます。 <導入メリット> ・忠実度の高い過渡解析の実行 ・短いターンアラウンド時間 ・大幅なコスト削減
真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能!
当社が自社開発した3次元希薄気体解析用のソフトウェア 『DSMC-Neutrals』では、真空装置の排気シミュレーションが可能です。 種々の物理量の計算結果の図示や、過渡的なグラフをプロットすることにより 排気システムの設計・開発において実験だけでは得ることが大変な様々な 情報を簡単に見える化できます。 詳しくは、以下のURLをご覧ください。
LEDの多重量子障壁の有無比較のためのツール
多重量子障壁(MQB: Multiple Quantum Barriers)超格子(SL: superlattice)のトンネリングモデルを解説。超格子の有無をシミュレーション比較。(バンド図(band diagram)、L-I特性、内部量子効率(IQE)、電子リーク(electron leakage)など)多重量子障壁は電子のポテンシャルバリアを増加し電子リークをより効果的にブロック。
CSupremにおける物理モデル
イオン注入(ion implantation), 蒸着(deposition)、エッチング(etching)、拡散(diffusion)、酸化(oxidation)に対する物理モデルをベースに様々な半導体構造の1次元、2次元および3次元のプロセスシミュレーションが可能。IC製造工程の研究開発コストをコントロールするのに欠くことのできない信頼のある正確なシミュレーションツール。デバイスシミュレーターのためのドーピングプロファイル(doping profile)を出力可能。
見えない地層の真実を可視化する、FracManの革新技術
FracManは、複雑な亀裂貯留層システムの分析と理解のために設計された、離散的亀裂ネットワーク(DFN)モデリングに特化した高度なソフトウェアです。亀裂貯留層システムの異方性を完全に捉える唯一のDFNモデルとして、従来のモデリングアプローチと比較して大きな優位性を提供します。 FracManは、見えない地層を可視化する技術を提供します。 【主な機能】 ■複雑な地層内の亀裂ネットワークを3次元でモデル化 ■地層の応力状態をシミュレーションし、地層の安定性を評価 ■流体の移動経路や速度を予測し、地下水の挙動を解析 ■地層の力学的特性を考慮した地盤沈下の予測機能 ■断層の再活性化リスクと誘発地震の可能性を評価 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
GPUによるFDTD計算の処理速度の向上
3次元レンズ構造およびCIS 3次元 CMOSイメージセンサーをベンチマーク例としてピックアップ。クロスライトのFDTDのGPUバージョンは3次元の実デバイス構造に対し66倍処理が向上。ベンチマーク結果は安価なGPUカードで、Core i7 3930K PC 10クラスター(60コアに相当する)と同等の処理速度を実現。
電子機器に対する冷却設計にご利用いただいた事例などをご紹介!
三菱電機様が多種多様な熱流体システム技術構築に当社の製品を ご活用いただいた事例をご紹介いたします。 同社は今後の技術構築のために最適化ツールの活用が必須であると考え、 modeFRONTIERとFloTHERMを導入し、早速、業務で必要になった 自然空冷ヒートシンクの形状最適化にトライされました。 最適化の計算条件は、入力変数に内側フィンの枚数、ベースの厚み、 フィンの高さ、フィンの厚みを設定し、幅、長さ、全体の高さは固定値として、 最適化計算を実施、最適形状を抽出を実現。 さらに、基板上の部品配置の最適化計算にも活用されています。 【特長】 ■汎用的な技術を構築し製品開発に貢献 ■大規模計算、ユーザー数の増加、多拠点化などに対応できるCFDツール ■計算時間の短縮が見込める ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CFD統合環境Fidelityや高次精度ソルバーのご紹介に加え、様々な分野に関して、製品群やソリューションをご紹介いたします。
2022年11月16日・17日の2日間に渡って、オンラインイベント「CFDソリューションセミナー2022」を開催いたします。 本セミナーでは、当社の新しいCFD統合環境であるFidelityを紹介し、 様々な分野に関して、製品群やソリューションをご紹介いたします。 液体水素の解析、ドローンの空力最適化、電子機器のジュール熱解析、 データセンターのデジタルツイン化など、当社の最新のホットトピックを交えながら、 Cadenceソフトウェアの活用方法を数多くご紹介しますので、ぜひご参加ください。 【セミナー概要】 ■開催日時:11月16日(水) 14:00-16:05 11月17日(木) 14:00-15:40 ■主催:日本ケイデンス・デザイン・システムズ社 ■費用:無料 ■会場:オンライン(Zoomウェビナー) ■ご参加方法 ・ご登録いただきました方には、各開催日前日の17:00までに Zoomアクセス情報をお送りします。 ■ご登録締切:11月15日(火) 16:00 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CAD/CAM/CAEでお客様の製品開発業務を最適化・サポート致します!
当社は2004年に設立し、CAE関連 販売、教育、サポート、 コンサルティングを行っている会社です。 自動車・工作機械・産業機器・家電・工業デザイン・電子機器・精密機器・医療機器 その他の産業における技術者に支持されている様々な製品販売業務を展開しております。 【事業内容】 ■CAD/CAM/CAE関連 販売、教育、サポート、コンサルティング ■受託解析(構造、衝撃、熱、電磁場、熱流体) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
CAEの選定ポイントについてイラスト付きで紹介。豊富な機能を搭載した低価格プラットフォームの情報も
当社では、“CAE”を用いた製品開発を効率よく進めるために 押さえたいポイントについて掲載した資料を配布中。 よくある導入後の悩みについて、実際の会話を模した形式で 紹介しつつ、それらの問題を解決するために考慮したいポイントを 初心者にもわかりやすく解説しています。 【掲載内容】 ■導入時のストーリー(導入時/導入後) ■よくある導入後の悩み ■成功のためのポイント例 ■ANSYS Discoveryの紹介 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
開発設計業務をサポート!有効に活用できる機能についてご紹介
最適化計算ソフトウェアCAESESと熱流体解析ソフトウェアCONVERGEは、 形状最適化や設計変数の影響調査を目的とする連携最適化システムとして 設計開発の現場でエンジニアのサポートを行っています。 この記事では、CONVERGEとの連携の際にCAESESで有効に活用できる 機能について、吸気ポートモデルやピストンモデルを用いて紹介していきます。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例
CCP(容量結合プラズマ)装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
複数の粒子の運動を一つの代表粒子で表す工夫を実施!計算時間を短縮できます!
当コラムでは、『流れの中の粒子を解く』ことについてご紹介しています。 OpenFOAM(Open source Field Operation And Manipulation)はその名に ある通り、場の変化を観察するオイラー法を用いた流体計算のソルバーが メインの数値解析ソフトです。 標準でも様々な手法のソルバーが含まれておりますが、その大半が オイラー法に分類されるソルバーです。 しかし、その一部には、粒子の軌跡を追跡するラグランジュ法を用いた 粒子計算のソルバーも存在します。 詳しくは関連リンクからご覧いただけます。 ぜひ、ご一読ください。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
高応力GaNデバイスの研究ツール
高応力(higly stressed)がかかるGaN多重量子井戸(MQW)の理論モデルを解説。クロスライトのデバイスシミュレーターでシリコン上に任意の結晶方向(crystal orientations)に成長したGaNデバイスLEDについて次のような結果を得ることが可能。シリコン基板からの張力(tensile)は多重量子井戸(MQW)のバンドギャップ(band gap)を減少し波長が長くなる。多重量子井戸(MQW)中の圧電電荷(piezoelectric charges)の減少。内部量子効果(IQE)の減少はEBL(electron blocking layer)インターフェイス上の圧電電荷の増加が原因。
多種多様な材料や物理モデルを用意、様々な解析が可能な半導体デバイスシミュレータ。カタログのダウンロードは無料!
<主な特徴> ■半導体デバイス用の汎用2D/3D有限要素解析・設計ソフトウェア ■半導体レーザを除くほとんど全てのデバイス設計・解析に適用可能 (半導体レーザは別製品LASTIPとPICS3Dでシミュレーションが可能) ■シリコン、化合物から成るデバイスの設計に用いることが可能 <多様な物理モデルや機能> ■電流-電圧(I-V)特性 ■ポテンシャル、電場、電流の2次元分布 ■流体力学モデルにおけるホット・キャリア温度の2次元分布 ■熱輸送モデルで用いられる格子温度の2次元分布 ■様々なバイアス条件のもとでのバンド図 ■任意の周波数帯における交流微小信号応答解析の結果 ■荷電子混合モデルを用いた量子井戸のサブバンド ■半導体中の深いレベルにトラップされた不純物占有数と密度の2次元分布 ■光検出器などの光デバイスの2次元光学場分布 ■LEDの自己放出スペクトルの電流依存性 ■FDTDインターフェイス ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。 ■試用版のご希望は下記のお問い合わせからご連絡ください。
圧縮性と粘性を考慮した流れの計算が可能!ガス成分の種類ごとに密度と流量の空間分布が求まります
『中性粒子連続体モジュール(NMEM)』は、複数種の原子・分子 (電荷を持たない粒子)からなる混合気体の流れ場を計算します。 中性粒子種各成分の拡散を考慮した流体の基礎方程式を解くことにより、 各成分の流量と密度を計算。 この基礎方程式は気体を連続体とみなしたもののため、Kn(クヌーセン数; 流れの希薄度を評価する無次元数Kn=平均自由行程長/流れの代表長さ)が およそKn<0.01の場合に対して適用できます。 【特長】 ■ガス成分の種類ごとに密度と流量(フラックス)の空間分布が求まる ■圧縮性と粘性を考慮した流れの計算ができる ■プラズマとカップリングした計算が可能(PHMまたはPIC-MCCMとのカップリング) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
数多くの受託業務によって、徹底的に磨き抜かれた In-houseソフトウェアが複雑かつ高度化するニーズにお応えします。
数多くの受託計測業務で培われた「経験と技術ノウハウ」を結集した『FtrPIV』は、経験の浅い解析スタッフから研究者・専門家まで、幅広い業種・業態でご利用いただける流体画像解析ソフトウェアです。 PTV・PIA機能も備え、さらに利用価値の高い製品に仕上がっています。 経験豊富なスタッフによるIn-house soft『FtrPIV』は、常にお客様と共にあり、弛まぬ進化を続けます。 ■高速・高精度で、直感的な移動量推定 FtrPIVの基本的な移動量推定手法は"直接相互相関法(Direct cross correlation method;DCC法)"です。計算機性能の進歩に伴い、原理的に最も単純明解で精度の高いこの方法が、原因不明な誤推定を防ぐとともに、より画像に忠実かつ安定性の高い推定を実現します。 その他の有力手法(オプティカルフロー法、マルチ・グリッド法、マルチ・コリレーション法、ウィンドウ・デフォーメーション法など)も用意されており、画質に併せた選択が可能です。
μCT画像読込やモデリングによる構造生成と、機能特性評価・可視化までを一気通貫で解決
GeoDictは、リチウムイオン二次電池や燃料電池、全固体電池、フィルター濾材、複合材、構造部材/高機能材、織物、不織布などのさまざまな多孔質材料構造の生成を容易にし、それらの材料特性や機能を最適化できる革新的な材料開発シミュレーションです。 FIB-SEM画像などの画像処理/読込や、幾何的パラメータ入力によるnm~mmスケール3次元構造の生成、幾何形状分析、性能評価のための幅広い解析機能を提供します。 GeoDictのシミュレーションによるデジタルツインを、従来から行われている試料やテストピース有りきの材料開発プロセスと併用または置き換えをすることにより、新素材や高機能材料の開発を加速させます。
メカニクス、電気回路等が複合する解析対象のモデリング&シミュレーションに!
◆◇◆「人とくるまのテクノロジー展2015」に共同出展決定!(5/20~5/22)◆◇◆ 『Dymola』は、あらゆる物理現象を数式ベース記述できる 「Modelica言語」に対応した物理モデリングツール。 ライブラリの部品アイコンを組み合わせるだけでモデル化可能。 机上で模型を作成するような感覚でモデル化してシミュレーションできます。 【追加されたオプションライブラリ】 ■Engine Dynamics Library(エンジン系) ■Liquid Cooling Library(冷却系) ■Hydro Power Library(水力発電系) ■Electric Power library(電力発電系) ■Thermal Power Library(火力発電系) ■Heat Exchanger Library(熱交換器系) ■Vapor Cycle Library(蒸気圧縮系) ■Fuel Cell Library(燃料電池系) ■Flight Dynamics Library(航空宇宙系) ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンスパッタリング解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
FRIENDSHIP社とRRD社との共同開発による軸流コンプレッサーブレードの最適化についてご紹介
航空機エンジンメーカーは、排気ガスや燃料消費量の削減という厳しい要求を 満たすために日々製品開発に取り組んでいます。 この取り組みには、空力的に優れたコンプレッサの設計を効率よく行うために、 設計プロセスのさらなる改善が求められています。 近年、グローバルな設計・性能要件を満たす適切なブレード形状を高効率で開発する ためには、形状作成ツールと流体解析ツールという異なるソフトウェア間で 多くの反復計算が必要となるのです。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。