加工事例【半導体製造装置向け】真空チャンバー・チャンバー内製品等
国内大手半導体製造装置メーカーへの納入実績あり!真空チャンバー等型アルミ部品を高精度に仕上げます
半導体製造装置部品関連の製作実績をご紹介します。 PC、LL、TMの「真空チャンバー」、「チャンバー内製品」、 「チャンバー周辺製品」「深堀製品(~650mm)」等の製作・納品実績あり。 アリ溝・シール面加工などの真空部品関連技術を駆使し、より高精度な製品づくりを目指しております。 さまざまな接合・表面処理にも対応可。 電子ビーム溶接(EBW)、ろう付、TIG溶接、 硬質アルマイト、混酸アルマイト、無電解ニッケル、テフロンコーティング等、お客様のニーズに対応いたします。 また、生産管理システムは自社開発品。フレキシブルな生産・納期管理を実現いたします。 【製品例】 ■真空チャンバー(PC、LL、TM) ■チャンバー内製品(上部下部電極など) ■チャンバー周辺製品(LLM、LIDなど) ■ゲートバルブ製品 ■深堀製品(~650mm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社信和
- 価格:応相談