高純度ガス系バルブ『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』
KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能！手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています
『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で 異なった設計になっております。 【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵 することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社キッツエスシーティー
- 価格：応相談
