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発電機や延長コード不要。最大吐出油圧力は70MPa。作動音が静かで、排気ガスの心配も不要
『ZCシリーズ』は、バッテリ式ポンプの可搬性と便利さに加え、 高い耐久性・静粛性も兼ね備えたコードレス油圧ポンプです。 排気ガスを出さないほか、強力なブラシレス電動モータ(1.0kW)の 搭載により、最大70MPaの吐出能力を実現しています。 大型リチウムイオンバッテリを採用し、出力100t・150mmストロークの 複動油圧ジャッキを無負荷作動で、約50サイクル往復させることが可能です。 【特長】 ■石油燃料を使用しないバッテリ式で引火や排気ガスの心配不要 ■便利で操作性の良い3mのペンダント・コード付き ■わずか1時間でフル充電が可能 ■騒音レベルは80dBA以下 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ポンプシリーズやモータ出力（kW）、タンク容量（L）、搭載バルブ・機能などを製品ごとにご紹介！
『ZEJシリーズ』は、作業の効率と省エネルギー化を重視した、 低圧7MPa・高圧70MPaの自動2段切換ポンプです。 当選定表では、ポンプシリーズやモータ出力（kW）、タンク容量（L）、 搭載バルブ・機能、電装、クーラを製品ごとにご紹介。 この他に、電動油圧ポンプ用アクセサリや「ZEJ_TG46シリーズ」の 電動油圧ポンプ選定表も掲載しております。 是非ご覧ください。 【ZEJシリーズ 掲載内容】 ■VM1/VM4 ■HWC/HWO ■VD1/VD1クーラ付 ■VD2/VD2クーラ付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
精密な流量の微調整が可能！加圧時でもハンドル操作がスムーズ行えるバランスタイプもご用意
当社が取り扱う、流量制御バブル/ラインシャットオフバルブを ご紹介します。 流量制御バブルは、最高使用圧力35MPa用の「V-6N型」をはじめ、 最高使用圧力70MPa用の「V-77型」、更に精密な流量の微調整が可能な 「VF70GS」をラインアップ。 また、ラインシャットオフバルブは、油圧回路の開閉に使用する、 最高使用圧力70MPa用油圧バルブとなっており、加圧時でもハンドル操作が スムーズ行えるバランスタイプの「V-8BR型」をご用意しております。 【流量制御バルブ 特長】 ■最高使用圧力35MPa用「V-6N型」はニードル式で流量の微調整が可能 ■最高使用圧力70MPa用「V-77型」は温度補償機構付バルブ ■「V-77型」は流量の微調整が可能で完全閉止ができる ■「VF70GS」は更に精密な流量の微調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コマトロール社は幅広いカートリッジ弁を取り揃えています
一般の圧力/流量/方向切換弁のほかに比例制御弁などを用意しています
直流ソレノイドを用い励磁にて流路を開く高性能のソレノイドバルブ
『dVB-2323』は、直流ソレノイドを用い励磁にて流路を開く高性能の電磁弁です。 操作ソレノイドの組合わせにより最高3MPaの管路圧にも使用出来るように シリーズ化され鋳鋼、ステンレス鋼弁の採用により、多様な用途に 安心してご使用いただけます。 【特長】 ■口径の範囲：10A～100A ■流体の種類：水、空気、油、ガス ■最高動作差圧：0～1.0MPa ■据置条件：－5℃～＋40℃ ■電源電圧の種類：AC100～440V 50/60Hz DC12～240V ■絶縁･定格：B種 連続定格 ■操作ソレノイドの種類：20W、35W、60W及び90W形 ■弁部材質：FC-SUS420J2（10～40A) FC-CAC（50～100A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直流ソレノイドを用い励磁にて流路を閉じる高性能のソレノイドバルブ
『dVB-2324』は、直流ソレノイドを用い励磁にて流路を閉じる高性能の電磁弁です。 操作ソレノイドの組合わせにより最高3MPaの管路圧にも使用出来るように シリーズ化され鋳鋼、ステンレス鋼弁の採用により、多様な用途に 安心してご使用いただけます。 【特長】 ■口径の範囲：10A～100A ■流体の種類：水、空気、油、ガス ■最高動作差圧：0～1.0MPa ■据置条件：－5℃～＋40℃ ■電源電圧の種類：AC100～440V 50/60Hz DC12～240V ■絶縁･定格：B種 連続定格 ■操作ソレノイドの種類：20W、35W、60W及び90W形 ■弁部材質：FC-SUS420J2（10～40A) FC-CAC（50～100A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
励磁にて流路を開き高温流体や腐蝕性流にも使える高性能のソレノイドバルブ
『dVB-2325』は、直流ソレノイドを用い励磁にて流路を開く高性能の電磁弁です。 操作ソレノイドの組合わせにより最高3MPaの管路圧にも使用出来るように シリーズ化されております。 パックド形のためソレノイド部は流体の影響を受けませんので、弁体部に 鋳鋼やステンレス鋼を用いて高温流体や腐蝕性流体にもご使用いただけます。 【特長】 ■口径の範囲：10A～100A ■流体の種類：スチーム、水、海水、空気、油、ガス ■最高動作差圧：0～1.0MPa ■流体温度の限度：180℃ ■据置条件：－5℃～＋40℃ ■電源電圧の種類：AC100～440V 50/60Hz DC12～240V ■絶縁･定格：B種 連続定格 ■操作ソレノイドの種類：20W、35W、60W及び90W形 ■弁部材質：FC-SUS420J2（10～40A) FC-CAC（50～100A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フォークリフトアタッチメント用油圧バルブ
フォークリフトのアタッチメントに使用する油圧バルブです。ペーパーロール運搬用など、回転部（ロータリー部）を有した圧力保持が必要なパイロットチェック弁など製作しております。フォークリフトメーカ様や、フォークリフトアタッチメーカ様に納品しております。 製作から、油圧テストまで行うことが可能です。
所定のクラッキング圧力をもって一方向にのみ油を通過させ、逆方向は流れを止めるチェックバルブです。
軸方向にのみ流れるインラインタイプのチェックバルブです。 所定のクラッキング圧力をもって一方向にのみ油を通過させ、逆方向は流れを止めます。仕様上のリーク（漏れ）量は油圧20ＭＰａかけて、1分間に０~数滴です。 Ｇ3/8ポートの図面詳細、及び価格はカタログをご覧ください。その他のポートや他のチェックについては、お問い合わせフォームにてご連絡ください。折り返しご連絡致します。 ～『以下企業PR』～ 弊社は世界３位のフォークリフトメーカ様に油圧バルブ、加工部品を安定供給することで物流ソリューションを支える企業です。 下記の通り部品加工、油圧バルブ製作を行っておりますので合わせてお問い合わせください。 【部品加工】2タレット2スピンドルの複合旋盤や5軸マシニングなどの高効率工作機械を多数。幾何公差部品や、複雑形状部品もCAD/CAMを使用しながら加工し、生産管理システムで納期遵守。得意な部品は、マニホールド、フランジ、バルブ子部品など。 【油圧バルブ】チェックバルブが得意で20MPaでの漏れ量数滴が特徴。特殊車両のシリンダ伸縮固定、アルミダイキャスト製造機のサージ圧対応、ダンパ機構など様々採用。
ステムベアリングを採用により長寿命を実現した高圧用ボールバルブ
特殊フッ素樹脂配合のステムベアリングを採用。長寿命を実現しました。 ３ピース構造の採用により、メンテナンス性が向上しました。 各種シール材質・接続形式の製作が可能です。口径は１０Ａ〜４０Ａ。最大使用圧力は１４ＭＰａ
コンパクトエア作動ボールバルブ
小型エンジニアリングプラスッチ製アクチュエータの採用により、軽量化とコストダウンを実現しました。 一般流体用の二方弁、三方弁と蒸気・高温流体用二方弁、および保温用ロングネック二方弁、三方弁をシリーズ化しました。
耐食性にも優れ、長寿命を実現！バルブ本体と配管接続部のキャップが分割できる3ピース構造
『Zシリーズ』は、バルブ本体と配管接続部のキャップが分割できる 3ピース構造のミニバタフライバルブです。 弁体にはPPS樹脂を採用。PTFEに匹敵する耐スケール付着性を誇り、 耐食性にも優れ、長寿命を実現しました。 中間開度を多用する比例制御用に好適で、メンテナンス時はキャップを 残して本体部のみ交換が可能です。 【特長】 ■中間開度で使用可能、比例制御にも好適 ■メンテナンス性良好、装置組込みに適している ■さまざまな流体に対応しながらも低コスト・長寿命を実現 ■接液部に金属を露出させない仕様も選定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
化粧品・食品・薬品業界に！フッ素ホースの柔軟性・耐薬品性がトップクラス
『E-SJSPUS』は、4フッ化系ETFE樹脂を内層に使用した、超柔軟なスプリング入りフッ素ホースです。八興製の中でも特に柔軟性と曲げ保持力に優れたモデルで、狭いスペースや複雑な配管レイアウトにも対応できます。 また、錆びにくいSUS製スプリングを内蔵しており、潰れにくく安全性にも優れています。内層のフッ素樹脂は撥水性・非粘着性・耐薬品性が高く、内容物が残りにくく洗浄性にも優れています。 【特長】 ・フッ素ホース特有の耐薬品性と柔軟性を両立 ・SUSコイル入りで形状保持がしやすく潰れにくい ・可塑剤を含まないクリーン設計で安心 ・流体残りが少なく、洗浄が簡単 平間ゴム機材では、E-SJSPUSを小ロットから迅速出荷。用途に合わせた選定提案・カット加工にも対応可能です。
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さくする事に成功 ■品種を1/4" サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら 外観サイズを約20%縮小、重量も軽量化 ■耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現 ■多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を1.36cm3まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現 ■高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求 ■厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による 加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現 ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及 ＃空圧 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能！お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト！
『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び耐久性性能は変わらない ■半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
１台で流量調整と全開／全閉の２段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。
『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 全開/全閉の2段階のコントロールを可能 ■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現 ■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要 ■大幅なコストダウンと省スペース化が可能 ■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる ※ＫＩＴＺ ＳＣＴでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に！
『KDシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の 圧力を下げる安全機能が搭載 ■選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G)) ■接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高性能、コンパクト、低価格を実現！均熱性を必要とする有機金属系の半導体プロセスに好適
『高温（250℃）対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 また、接ガス部だけでなく、アクチュエーターを含むバルブの 構成部品全てが高温環境下で使用可能なため、均熱性を必要とする 有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来ます。 【特長】 ■バルブ構成部品全てオールメタル化により、250℃での使用が可能 ■Cv値の落ち込みを極力減少させ、高性能、コンパクト、低価格を実現 ■アクチュエーターを含むバルブの構成部品全てが高温環境下で使用可能 ■均熱性を必要とする有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大径サイズストレートタイプ！当社独自のＹ型構造により、より高いCv値を実現
『IBC/IBD/IBE』シリーズは、「SBB」シリーズ同様、コンパクトな 設計でありながら高いCv値と耐久性能を持った供給ラインで使用 することを前提とした、大径のパイプサイズベローズバルブです。 「IBC/IBD」タイプの内面は、全面円筒機械加工することにより、 均一に仕上がっており、「IBE」タイプはベアリング内蔵のネジスリーブ 構造の為、ハンドルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能です｡ 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージポートをオプション仕様として､1次側､2次側､両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブ
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB） ■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL） ■ベローズシール構造により高いリーク性能を有する ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に好適！ランニングコストの低減を実現
『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に適しています。 また、専用の交換工具セットを使用することで、簡単かつ正確にシートと ダイヤフラムを交換できます。 【特長】 ■デッドボリュームが少なく置換特性良好 ■当社「WD」シリーズに較べ、バルブ内流路の内容積を1/4に削減 ■滞留部分を最小限に抑え、パージが容易に行える ■ランニングコストの低減 ■シートとダイヤフラムの交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能
『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性 ＃高速応答 ■高温流体に対応 ■安定したCv値 ■高耐久 ■高純度ガス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ
『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます
当製品は、バイパス弁もエアー駆動により、自動で開閉が可能なバルブです。 緊急遮断機能付きで、緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが可能。 大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能にし、薬液充填ラインなどで 省スペース化に役立ちます。 【特長】 ■バイパス弁もエアー駆動により自動で開閉が可能 ■大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能 ■薬液充填ラインなどで省スペース化に役立つ ■緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます
当製品は、流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止する サックバック機能付バルブです。 サックバック機能のみの「サックバック弁単弁」と、液体のON/OFF、 サックバック機能の「サックバック弁＋ON/OFF自動弁一体型」をご用意。 塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます。 【特長】 ■サックバック機能付 ■流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止 ■塗布工程や薬液充填工程等で定量精度の向上に役立つ ＃サックバックバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全開流量を任意に設定可能！クリーンで使いやすい自動弁のご紹介
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整付自動弁』は、全開流量を任意に設定可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により 流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で節水も可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！
『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。 ＃副生成物対策 【特長】 ■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制 ■CVD装置などの排気ラインに好適 ■ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用 ■最高流体温度200℃まで使用できる ■分解・洗浄・パッキン類の交換が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
