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半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブ
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB） ■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL） ■ベローズシール構造により高いリーク性能を有する ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に好適！ランニングコストの低減を実現
『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に適しています。 また、専用の交換工具セットを使用することで、簡単かつ正確にシートと ダイヤフラムを交換できます。 【特長】 ■デッドボリュームが少なく置換特性良好 ■当社「WD」シリーズに較べ、バルブ内流路の内容積を1/4に削減 ■滞留部分を最小限に抑え、パージが容易に行える ■ランニングコストの低減 ■シートとダイヤフラムの交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能
『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性 ＃高速応答 ■高温流体に対応 ■安定したCv値 ■高耐久 ■高純度ガス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ
『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます
当製品は、バイパス弁もエアー駆動により、自動で開閉が可能なバルブです。 緊急遮断機能付きで、緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが可能。 大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能にし、薬液充填ラインなどで 省スペース化に役立ちます。 【特長】 ■バイパス弁もエアー駆動により自動で開閉が可能 ■大流量・小流量の切替を1台のバルブで可能 ■薬液充填ラインなどで省スペース化に役立つ ■緊急時はバイパス弁も自動で遮断することが出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます
当製品は、流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止する サックバック機能付バルブです。 サックバック機能のみの「サックバック弁単弁」と、液体のON/OFF、 サックバック機能の「サックバック弁＋ON/OFF自動弁一体型」をご用意。 塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます。 【特長】 ■サックバック機能付 ■流体を停止した時にノズル先端からの液だれを防止 ■塗布工程や薬液充填工程等で定量精度の向上に役立つ ＃サックバックバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全開流量を任意に設定可能！クリーンで使いやすい自動弁のご紹介
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整付自動弁』は、全開流量を任意に設定可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます
「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『バイパス付自動弁』は、バルブ閉時にもバイパス流路により 流体の滞留を防ぎ、バイパス弁開度の調整で節水も可能。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！
『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。 ＃副生成物対策 【特長】 ■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制 ■CVD装置などの排気ラインに好適 ■ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用 ■最高流体温度200℃まで使用できる ■分解・洗浄・パッキン類の交換が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備！ 手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能
『FCDT』は、200℃流体に対応できるWET系バルブです。 自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備しており、 手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能。 また、手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を 採用し、全開だけでなく中間開度（2段階）を設定出来ます。 【特長】 ■200℃流体に対応 ■自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備 ■手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能 ■手動弁は3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を 採用し、全開だけでなく中間開度（2段階）を設定出来る ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ！
『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより 開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。 【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ取り付け作業が容易 ■最小の面間寸法により設置スペースの問題を解決 ■固定ネジにより任意の開度で設定できる ■差動ネジ機構による微小調整ができる ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！
大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。
出荷時はしっかり閉まっていた原料容器バルブが、輸送時の振動により緩んでしまう、 ハンドルが半開しているのに気づかずに作業者がキャップやプラグを外してしまったなど、 原料容器輸送時における緩み防止、ヒューマンエラーなどの課題はありますか。 KKITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
出荷時に装置に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動によりバルブハンドルが緩んでしまった。バルブハンドルに鍵をつけて管理しているものの作業者の鍵開け作業に時間がかかっている、など、装置輸送時における緩み防止などの課題はありますか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中
忙しい時や、普段行わない操作が発生した場合などではオペレーションミスが起こりがちです。作業者の心理的負担を減らすことでヒューマンエラーによる事故を防ぐ事例をご紹介します。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中
バルブの誤作動対策はしたいが、ワイヤーや錠をつけると操作性が低下してしまう。緊急時は簡単に操作できるが誤作動対策のロック機能が備わったバルブはないか KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるＰＦＡ樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集
キッツグループの一員である当社 ＫＩＴＺＳＣＴは 半導体製造工程用のバルブ・配管部材を20年以上製造・販売しております。 今回は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもりが半開状態だった ・間違って閉止バルブを開けてガスを流してしまった ・忙しい時や普段とは違う作業時にバルブを締め切らずに漏れ発生… といった事故やトラブルのお悩みはありませんか？ お悩み別の解決方法を事例集にまとめております。 ▼ 事例集は「ＰＤＦダウンロード」のボタンからダウンロードできます。 ▼ 案件詳細をご相談されたい場合は、下記の「お問い合わせ」よりご連絡ください。
『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様 必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中
材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交換できるバルブを使用しているが、作業者ごと作業時間や作業工程が違ってしまっている、、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product
半導体材料メーカー様 必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中
250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product
成膜からエッチング、洗浄まで！各工程で求められるバルブの条件と製品例を紹介
半導体製造工場の装置・設備ごとに使用されるバルブについて まとめた技術資料です。 成膜装置、エッチング装置、洗浄装置といったプロセス装置から、 シリンダーキャビネット、ガス精製装置、液体供給システム、VMB、 除害装置、ユーティリティ配管などの設備まで、各工程でバルブに 求められる条件と当社製品例を掲載しています。 製品選定の参考としてぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■成膜装置(枚葉式/バッチ式/縦型)で使用される製品 ■エッチング装置の役割と使用されるバルブ ■洗浄装置の役割と使用されるバルブ ■成膜工程を支える設備・装置に使用されるバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
・オールステンレス製バルブ ・各国の防爆認定取得（ATEX、KOSHAなど） ・消費電力1W！
オールステンレス製のバルブで、イギリス周辺の海上油田プラントでは50%以上のシェアを持っています。 この度、消費電力1Wの製品を開発致しました！
コンパクトで耐久性に優れウォーターハンマー防止に最適！
アングルシートバルブは、コンパクトで耐久性に優れ、ウォーターハンマー防止に最適。エアー駆動式の２方弁です。開閉ともにエアー駆動、どちらかがエアー駆動でスプリングリターンを選択可能です。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
軽量・省スペース・高耐久性を実現したエア駆動式アクチュエータ一体型同軸式バルブ
エアー駆動式のアクチュエータ一体型同軸式バルブです。開閉ともにエアー駆動、どちらかがエアー駆動でスプリングリターンを選択可能です。スプリングリターンの場合、通常開（ノーマリーオープン）と通常閉（ノーマリークローズド）のいずれか選択可能です。 流体力学的な設計によりバルブでの圧力損失が最小限なのが特徴です。 VIPバルブは水平方向、垂直方向どちらでも使用可能です。また、シールはNBR、FKM、EPDM、ネオプレーンより選択可能です。
イタリア・オマール社のステンレス製バルブをご紹介。新製品「PROCHEMIE60」など多数ラインナップ。
オマール社の新製品「PROCHEMIE（プロケミー）60」は、メイン素材に 耐食性を向上させたステンレス<SCS14 SUS316>を採用し、化学工業用に 専用設計されたボールバルブです。 フランジ接続なので、本体のボルトを外せば簡単に分解・清掃が出来ます。 【特長】 ■フローティング式ボールバルブ ■メイン素材は耐食性を向上させたステンレス<SCS14 SUS316> ■本体のボルトを外せば簡単に分解・清掃が可能 ■サイズも1/2”～6”をラインナップ ■耐熱温度 ー40°C + 150°C ■ロングとショートバージョンの2種類をご用意 ※詳しくは資料をダウンロードいただくかお問い合わせください。
真鍮製で最大耐圧21Mpa。油圧・空圧等の用途に。
コストパフォーマンスに優れた高圧ボールバルブ。
cavagna（カバーニャ）は様々な業態に対応した高性能・高耐圧ガス用バルブを提供する、世界有数のバルブメーカーです。
カバーニャは、ローマ時代から冶金が盛んなイタリア・ブレシア近郊のルミザーネ村で創業しました。1949年の創業当初は、LPG用バルブとレギュレーターの製造会社としてスタート。常に先端技術に挑戦し続け、現在ではガス用バルブ業界では世界有数のメーカーにまで成長しましたが、今でもイタリアならではのファミリー企業的な伝統と、先端技術に取り組むグローバル企業としての良いところを兼ね備えたユニークな企業です。 そのため、ほぼすべての部品を自社生産している「信頼性」、年間１億個以上のバルブを大量生産できる「安心感」、大手ユーザーへの実績による「製品精度」など、ファミリーとグローバルの良いところが両立しています。 また、M&Aにも積極的に取り組み、世界的に有名な「Kosan Gas」「Cemco」「Mesura」「Bigas」「REPco」などもカバーニャ傘下のグループ企業となっています。各企業との繋がりにより「LPG/CNG」「都市ガス」「医療」「工業用ガス」「車両」「プラント」など、あらゆるバルブを使用する現場にも対応が可能となりました。
オマール社のバルブは「小型軽量」「省エネ」「高耐久性」など、独自の工夫・アイデアが盛り込まれています。
プラントに必要とされる技術はますます複雑化・高機能化し、プラント内で流体を制御するバルブなどの制御機器への要求も高まっています。
