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『事例』 高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

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最終更新日:2023年03月29日

株式会社キッツエスシーティー
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『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるPFA樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中

バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか? KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

    バルブ蒸着装置その他半導体製造装置
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『事例』 高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

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基本情報

・優れた耐熱性・耐食性・耐久性を有したバルブです。 ・使用時のCv値変動率が少なく 安定した再現性のあるガス流量のため、蒸気圧が低い材料を使用できます。 ・耐熱性のあるバルブハンドルのため、ハンドルを付けたまま恒温槽を使用できます。

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製品仕様によって異なります。詳しくは当社ホームページへお問い合わせください。

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用途 ・高温環境下で使用できるバルブが必要な方 ・高耐久のバルブが必要な方 ・恒温槽を使用するプロセス ・蒸気圧が低い材料を扱うプロセス

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KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。

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