PVD、CVDなどの薄膜実験用基板加熱ヒーター均一性・昇温特性・制御性に優れたヒーターです。RF/DCバイアス仕様も可能。
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。
PVD(スパッタ、蒸着、EB等)、CVDなどの各種真空薄膜実験、高温真空アニール、高温試料解析用基板ステージ、などに応用いただけます。
様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。
【特徴】
●セミカスタム製品です。ご要望に応じて設計製作いたします。
●予備ヒーター素線との交換が容易
●設置、メンテナンスが容易(M6スタッドボルト、支柱)
●RF/DCバイアス、基板回転などにも対応
【標準付属品】
● 熱電対:素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き
● 取付用スタッドボルト
【オプション】
● RF(150W)/DC(1KW)バイアス印加
● 標準外ヒーター素線(Nb, Mo, Pt/Re, WRe他)
● 基板保持クリップ
● 取付ブラケット
● 基板ホルダー
● ホルダー設置用タップ穴加工
● トッププレート材質変更(PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他)
● 過昇温用追加熱電対
● ベースフランジ、真空導入端子