【修正キャリア】研磨の仕上がり精度は研磨パッドの状態で決まります
研磨の基本は研磨パッドの精度の維持管理です。次のような症状が見られたら危険です。
【こんなことありませんか？】 ・研磨時間が長くなってきた ・歩留まりの低下（ワーク端面がダレてしまう） ・平坦度（平面度）が崩れる時がある。 研磨材の状態や研磨加工条件による影響もありますが、まずはPADの精度が崩れていないかを確認しましょう。 研磨PADの精度がワークへ転写されるという考え方が研磨の基本です。 研磨PADの修正では多くの場合DP付修正キャリアが使われています。 とはいえ、ただなんとなく使われていることが多く、最重要ポイントである「修正」がしっかりとできていないことが多々あります。 修正キャリアが適したものであるかについては次の事を確認してみてください。 ・PADが修正出来る仕様になっているか ・PADに対してドレス出来るDPが使われているか ・修正キャリア全体の厚みが揃っているか 修正キャリア使用後の研磨加工で ・研磨レートが復帰しない ・歩留が上がらない（戻らない） ・PAD表面状態の変化がわからない などございましたらぜひご相談ください。 長期間利用している場合、メンテナンスをしていないと修正能力が失われている場合もございます。
- 企業：八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格：応相談
