【半導体製造装置向け】低脈動で精密な送液ができるシリンジポンプ
半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア
微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分 （エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング） フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液 【活用シーン】 ・スピンコート ・スプレイコート ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・自動滴定調整 ・自動希釈 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など
- 企業：テカンジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
