NM_多軸半導体製造装置向け、高トルク精密位置決め超音波モータ
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
