真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
ロボット(ウエハ 搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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ロボットの製品一覧
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防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
クリーンルームロボット 「RX160CRロボット」
スーパークリーンルームや食品工場などのクリーン環境に適した高性能・高信頼性の6軸ロボットです。
RX160クリーンルームロボットはクリーンルーム環境や衛生性が求められる食品工場など発塵が許されない厳しい環境条件に対応するという目的から生まれたロボットで、優れた処理能力と高い信頼性も兼ね備えています。 24時間/日、7日/週という稼働条件において、その信頼性の高さが市場で実証されています。 【特徴】 ○密閉構造 ○高剛性構造 ○複数の設置方法 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
オムロン NX/NJシリーズ
高速制御と情報活用を両立！
■ シーケンス制御とモーション制御を統合 最大256軸のCPUラインナップで幅広いニーズに対応 ■ セーフティを統合 Safety over EtherCATを搭載し、シーケンス制御と安全制御の混在が可能 ■ マシン制御と情報通信を統合 ・産業界におけるグローバル標準ネットワーク EtherNet/IPTMとEtherCATを搭載 ・IEC 62541として規格化された通信プロトコルのOPC UAを搭載（一部機種） ・データベース接続CPUユニットは、生産プロセスデータをSQLデータベースサーバへ高速に直接格納が可能 ・予防保全システム、品質トレーサビリティシステムを実現 ■ モーション、セーフティからセンシングまでの開発環境をひとつに統合 オートメーションソフトウェア Sysmac Studioは、国際標準規格IEC 61131-3に準拠 PLCopenに準拠したモーション制御用ファンクションブロックをサポート オムロンが保有する豊富なノウハウをファンクションブロック化したSysmac Libraryのご提供で、プログラミング工数削減に貢献
- 企業：因幡電機産業株式会社 産機カンパニー
- 価格：応相談
『自動化・省力化ソリューションの導入支援』
産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボットやステージで段取り替えや搬送の効率アップ
当社は、機械要素部品とメカトロ製品のメーカーであるアドバンテージを活かし、 産業用ロボットや自動化設備向けステージなどの開発・製造を手掛けており、 『自動化・省力化ソリューションの導入支援』も行っております。 スカラロボットや垂直多関節ロボットによる ピックアンドプレースや組立の自動化など、数多くの実績を持ち、 産業用ロボットだけでなく、減速機やサーボモーターなどの要素部品や モジュール・システムも含めてワンストップでご提供。 神戸と東京にロボット技術センターを構えており、 システム導入を当社技術担当者がサポートいたします。 【2023国際ロボット展(IREX2023)に出展！】 会期中のブースでは、垂直多関節ロボットやスカラロボットなど、 各種産業用ロボットをご覧いただけます。ぜひお立ち寄りください。 日時：2023年11月29日～12月2日 10:00～17:00 会場：東京ビッグサイト 小間：東6ホール E6-16 ※「PDFダウンロード」より当社の産業ロボットなどの資料をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
【カタログ無料進呈】『半導体ウェハー・ガラス基板搬送用ロボット』
＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイテック
- 価格：応相談
【産業用ロボットに関する基礎知識】基本用語集
「アンドロイド」や「ウエハー搬送ロボット」など！産業用ロボットの基本用語を多数掲載
当資料は、産業用ロボットに関する基礎知識「基本用語集」です。 「アーム」や「アクチュエーター」など基本用語を五十音順にご紹介。 関連用語も掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載基本用語（一部）】 ■アーム ■アクチュエーター ■アプリケーション ■安全柵 ■アンドロイド ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エプソン販売株式会社 本社
- 価格：応相談
自律走行URロボット『Actibo』
より軽く、より便利に！オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能！
当社が取り扱うカスタマイズ移動ロボット『Actibo』をご紹介します。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化が可能。オプションの バッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事ができます。 「UReシリーズ」は、DC OEMコントロールボックスを搭載しており、15kgから わずか5kgに軽量化しています。 【特長】 ■より軽く、より便利 ■オプションのバッテリー使用によりアクティブに作業をこなす事が可能 ■半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業を自動化 ■工作機械におけるワークの搬送とセッティングが可能 ■自動車製造などで部品棚から部品を集める工程などに好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：JMPエンジニアリング株式会社
- 価格：応相談
カスタマイズ移動ロボット『Actibo』
離れた場所への荷物搬送や作業が可能！AMR搭載のユニバーサルロボット
『Actibo』は「MiRシリーズ」と「UReシリーズ」がコラボレーションした カスタマイズ移動ロボットです。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化をはじめ、 工作機械におけるワークの搬送とセッティングや、自動車製造などで 部品棚から部品を集める工程などに好適。 オプションのバッテリー使用で、よりアクティブに作業を行うことが可能です。 【特長】 ■進行方向にある物や人を独自で回避 ■AMR搭載のユニバーサルロボット ■離れた場所への荷物搬送や作業、人が近寄れない場所などへの作業が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：カンタム・ウシカタ株式会社
- 価格：応相談
【 AMR 】Oasis シリーズ【自律移動ロボット】
AMR単体で工程間搬送の自動化が完結！±5mmの高精度位置決めでロボット単体での自動化を実現。※導入用途例付きカタログを無料進呈
自律移動ロボット『Oasisシリーズ』についてご紹介します。 高性能LiDAR、協力な制御アルゴリズム搭載により高い停止精度を実現した自律移動ロボットです。 業界トップクラスの繰り返し位置決め精度(±5mm)によりAMR単体での工程間搬送自動化をご支援。 可搬重量ラインナップ300kg～1200kg。 動作環境の設置準備(マーカー、テープ、ガイドなど)が不要です。 グループのTHKインテックスにより充実した立上げサービス提供、周辺機器の製作も可能です。 【特長】 ■障害物検知/回避 ■リアルタイム制御 ■タスク管理 ■自動充電 ■カスタマイズ(要相談) ■経路固定走行 ※主な運用シーンや導入用途が分かるカタログはPDFをダウンロードしてご覧ください。 仕様詳細はお気軽にご相談ください。
- 企業：THK株式会社 本社
- 価格：応相談
