半導体用 6軸ロボット
スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
- 企業:ストーブリ株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年07月02日~2025年07月29日
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スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
離れた場所への荷物搬送や作業が可能!AMR搭載のユニバーサルロボット
『Actibo』は「MiRシリーズ」と「UReシリーズ」がコラボレーションした カスタマイズ移動ロボットです。 半導体製造工程におけるウエハーの搬送作業の自動化をはじめ、 工作機械におけるワークの搬送とセッティングや、自動車製造などで 部品棚から部品を集める工程などに好適。 オプションのバッテリー使用で、よりアクティブに作業を行うことが可能です。 【特長】 ■進行方向にある物や人を独自で回避 ■AMR搭載のユニバーサルロボット ■離れた場所への荷物搬送や作業、人が近寄れない場所などへの作業が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。