Last Updated： Aggregation Period:2025年08月20日～2025年09月16日
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ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能
SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能 ・半導体のドーパント濃度分布計測に有効 ・半導体の極性（p型/n型）の判定は不可 ・定量評価は不可
他に比類なき高視野・高分解能を実現した、干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡（視野域：３０ｘ５０ｍｍ・分解能：５０ｎｍ）
レーザ走査を用いた初めての干渉計測 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます ●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000） サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。 走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能 セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能 干渉縞解析ソフトはオプション ●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500） 円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能 ●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000） 非接触で微細な干渉縞計測可能。 交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能 通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます これらを応用展開した機器 超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 3D‐レーザ走査イメージャ 5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる ●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です ●キズや深い穴の欠陥も検出可能です ●円筒面の形状計測や画像取得も可能です
大気中・水溶液中での試料構造変化の可視化
高分子は組成・構造を変えることで多様な機能が発現されることが知られており、様々な製品に利用されています。 高分子の評価においては、実環境での評価が重要です。今回は環境制御型AFM（原子間力顕微鏡）を用いて、大気中および水溶液中にて基板上の高分子形状を可視化した事例を紹介します。また、データ解析を併用することでポリマー粒子の分散具合を数値化しました。
光学画像からSEM観察までがシームレス！観察しながら同時に元素分析！
当社では、観察中に元素分析も同時測定できる 卓上型電子顕微鏡『JCM-7000 Neo Scope』を取り扱っております。 観測範囲は10倍から100,000倍でSEMのすべての機能が簡単に操作可能。 低倍率の光学画像からSEM画像まで自動拡大し、非導電性試料も そのまま観察できます。 【特長】 ■10倍から100,000倍の観測範囲 ■SEMのすべての機能が簡単操作 ■低倍率の光学画像からSEM画像まで自動拡大-Zeromag-（新機能） ■観察中に元素分析も同時測定-Live Analysis-（新機能）※オプション ■ミクロの寸法測定機能が標準 他 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 ・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能 ・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能
AFM :原子間力顕微鏡法
AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。
研究用から生産現場向けまで、大小様々なシステムのカスタマイズ提案が可能な原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介
当社では、ユーザーフレンドリーな操作性に対応し、表面形状の測定を 簡単かつ短時間で行える『原子間力顕微鏡（AFM）』を取り扱っています。 アクティブ防振機構を搭載し、多彩な測定モードに対応した「CoreAFM」や、 専用ツールの使用によりカンチレバーの交換がスムーズに行える コンパクト設計の「NaioAFM」などのモデルをラインアップ。 研究現場向けの小型仕様から、生産現場向けの大型ステージ仕様、 品質管理用の自動化システムといったカスタマイズ対応が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎卓上型原子間力顕微鏡「CoreAFM」 ■アクティブ防振機構・風防を採用 ■32種類の測定オプションを搭載可能 ◎小型原子間力顕微鏡「NaioAFM」 ■コントローラ、XYステージ・風防・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載 ※当社が取り扱う走査型プローブ顕微鏡をまとめたカタログを配布中。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
樹脂包埋、切断、研摩などによる試料調整を行い、断面形状観察および元素分析が可能です
株式会社サンコー分析センターでは、走査型電子顕微鏡・エネルギー 分散型X線分光器を用いた分析を行っております。 走査型電子顕微鏡（SEM）では、試料に電子線を走査し、表面から発生 する二次電子や反射電子を像に変換することで試料の形状を観察。 （30倍～300,000倍） エネルギー分散型X線分光器（EDS）では、電子線を走査した際に試料から 放射される元素固有の特性X線を検出することにより元素定性分析を、 特性X線の強度を測定しファンダメンタルパラメータ法による元素の 判定量分析を行います。 また、ご指定の部位のSEM像を写真撮影してご報告。ご希望により 測長、3Dイメージ化が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
初めてAFMを扱う方でも、簡単にナノスケールの動画観察が可能！
『MS-NEX』は、溶液中でサンプルをナノスケール&リアルタイムで動画観察が できるモジュールシステムの高速原子間力顕微鏡(高速AFM)です。 「今はこの機能が必要」「今はこの機能は使わない」というご要望に フレキシブルに対応。 お客様の研究テーマや進捗、ご予算に応じ、様々なモジュールを 組み合わせることで"今"にマッチした高速AFMをお使いいただけます。 【特長】 ■ナノスケール&リアルタイムで動画観察可能 ■必要に応じて各種機能を自由に組み合わせ ■後からモジュールを追加することも可能 ■様々なサポート機能を搭載 ■初めてAFMを扱う方でも簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化
当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMでは さらに微視的な構造を観察することができます。 【特長】 ■リキッドファンデーション塗膜の内部構造を 巨視的な形態観察で評価可能 ■電子顕微鏡による詳細構造の観察では、 乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高レベルのナノスケール解像度で信頼あるデータを提供する原子間力顕微鏡
『Park NX10』は、サンプルのセッティングからイメージング、測定、 解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができる 原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品なら、ユーザーはより多くの時間と、より優れたデータを基盤に 革新的な研究に集中することができます。 【特長】 ■クロストーク除去によるボーイングの無い正確なXYスキャン ■低ノイズZ検出器を使った正確なAFMトポグラフィー ■真のノンコンタクト(TM)モードによる最高クラスのチップ寿命、分解能 およびサンプルの保護 ■半導体/ポリマー/電池材料や炭素系材料などさまざまな材料の表面解析を ナノオーダーで解析(※イメージギャラリー参照) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ・加速電圧0.1～30kVの範囲で観察が可能 ・最大6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 EDX検出器による元素分析が可能 電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 冷却観察・雰囲気制御観察
試料解体から測定まで一貫して対応します
本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。 半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。 SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。
故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた 大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。 また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、 かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。 【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】 ■メディア、基盤用の表面ラフネス計測 ■欠陥検査イメージングと解析 ■高解分解能電気特性測定モード ■3D構造解析における側壁計測 ■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
