更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像（走査透過環状明視野像）により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
SEMとAFMを組み合わせた相関分析！材料表面の理解がより深化
『LiteScope 2.0』は、走査電子顕微鏡に容易に統合可能な 原子間力顕微鏡です。 SEMへの搭載は容易ですぐに使用可能、かつスタンドアロンAFM としても利用可能。 FIB、GIS、EDSやその他一般的なSEMアクセサリにも互換性が あります。 【特長】 ■SEMの機能拡張 ■非常に精密な相関イメージング ■迅速かつ容易な関心領域への位置合わせ ■サンプル汚染のリスクを排除 ■2DSEM像を3Dに拡張 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クライオミクロトームとAFMで軟らかい高分子材料の各種高分解能観察が可能です
AFM走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 その物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 また、クライオミクロトームを用いることで、凍結下で樹脂など軟らかい高分子材料の超薄切片作製が可能です。 このAFMとクライオミクロトームを使いポリイソプレンゴムをいろいろな角度から観察しています。 ぜひPDF資料をご一読ください。 本技術はゴム以外にも樹脂、プラスチック、各種高分子材料に応用可能です。 また、弊社では本分析装置に加えXPS、AES、GD-OESなどの各種表面分析を行っております。 お気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察 測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電池・照明 分析目的：形状評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
深層学習×データ解析によりSEM像から活物質の粒径を求めました
深層学習により、画像から目的の対象物を抽出することが可能です。また、得られた対象ごとに領域を解析することで数値として情報を得ることができます。 今回、バッテリー正極材の断面SEM像に対して、深層学習を用いて活物質粒子の抽出、クラックの検出をしました。Slice&Viewデータのような3Dデータに対しても同様に抽出が可能です。3Dデータからクラック有、クラック無粒子を抽出し、それぞれの粒径を算出しました。 測定法：SEM、Slice&View、計算科学・AI・データ解析 製品分野：太陽電池、二次電池、燃料電池 分析目的：構造評価、形状評価、故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
1983年に独自の長距離顕微鏡の製造・開発を開始。同年に長距離顕微鏡はその年の最も価値のある新機軸製品として表彰されました。
クエスター長距離顕微鏡は、「真空チャンバー中で行われる実験で微細な動的過程のリアルタイム観測・計測」、「有害な環境下にある試料の顕微鏡観察」、「オンラインでの精密検査」といった、長距離顕微鏡での計測・検査・監視・芯合わせに強力な画像化の手段を、という研究者や生産現場からの強い要望により開発されました。 長距離顕微鏡光学系により、雑然としがちな作業エリアから観察系を外に出すことが出来ます。なおかつクエスター長距離顕微鏡により、高いレベルの要求に基づく高倍率・高解像度の画像を得ることが可能になります。
長焦点高速オートフォーカスデジタル顕微鏡／M926RMS-TVUSB-20AFT
「たった約0.5秒」で高精細な映像を表示 フルHD200万画素、1/2インチCMOS搭載。 PC不要のモニタ接続式顕微鏡 長焦点高速オートフォーカスデジタル顕微鏡 ●超高速オートフォーカスと高画質を両立。 PCに接続不要、HDMIケーブルでモニタに接続し映像を映し出します。 ※モニタは別売りです。 ■超高速オートフォーカスならスピードと精度で観察時間を大幅に短縮 オートフォーカス（自動ピンと調整機能）の中でも超高速かつ正精度の高い焦点合わせを実現。 フォーカスしたい箇所をモニタの中心に配置するだけ、およそ0.5秒の速さでピントが合い、「見たい」その一瞬を見逃しません。 操作がなくスピーディーに観察でき、時間を大幅に短縮する事が出来ます。 ■検査精度を向上するフルHD200万画素・1/2CMOSセンサー搭載 フルハイビジョンによる高画質200万画素、さらに1/2CMOSセンサーを搭載し、従来の顕微鏡に差をつける高精度な映像を表示します。 これまで見づらいと感じていた対象物の形状をより際立たせ、リアルを追及。 不具合特定の精度を向上します
成形品、シート、フィルム表面の表面粗さや、表面シボ形状などの測定が可能！
当社では、形態観察として「レーザー顕微鏡(LM)による表面凹凸観察」 を行っております。 対物レンズはx5、x10、x20、x50、x100で、観察視野は100～1000um。 出力種はカラー像、モノクロ像、立体像(3D像)です。 成形品、シート、フィルム表面の表面粗さ測定や、外観異常部分、付着物、 傷の表面形状測定などの測定解析が可能です。 【装置概要】 ■対物レンズ：x5、x10、x20、x50、x100 ■観察視野：100～1000um ※対物レンズ倍率により異なる ■出力種：カラー像、モノクロ像、立体像(3D像) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゴム、エラストマー材料の表面形状を評価し、異常部分の解析も可能です!
当社では、形態観察として「レーザー顕微鏡(LM)による表面凹凸観察」 を行っております。 対物レンズはx5、x10、x20、x50、x100で、観察視野は100～1000um。 出力種はカラー像、モノクロ像、立体像(3D像)です。 成形品、シート、フィルム表面の表面粗さ測定や、外観異常部分、付着物、 傷の表面形状測定などの測定解析が可能です。 【装置概要】 ■対物レンズ：x5、x10、x20、x50、x100 ■観察視野：100～1000um ※対物レンズ倍率により異なる ■出力種：カラー像、モノクロ像、立体像(3D像) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。 特長 ・nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ・目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化 ・1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能 ・フォーカス不要で高速測定が可能 ・非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定 目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化
『MINUK』は、目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化できる 光波動場三次元顕微鏡です。 nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得可能。ワンショットで 深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム 表面の傷や欠陥の断面形状や三次元形状を可視化し数値化することが可能です。 高速で広範囲をマッピングし情報を得ることができるスティッチング機能に より、観察したい場所を素早く見つけ、詳細情報を取得することが可能です。 【特長】 ■nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ■1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得 ■フォーカス不要で高速測定が可能 ■非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能 ■任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
mm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測定事例
当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0.00583 μmという結果となりました。 また、SiC単結晶,SUS316Lのポリシング面の測定では、SiC単結晶 Sa 0.000458 μm、SUS316L Sa 0.000302 μmという結果となりました。 【白色干渉顕微鏡 特長】 ■非接触＆面測定 ・測定対象材質を問わない ・3D計測で面粗さ・線粗さに対応 ■広い測定範囲＆高分解能測定 ・mm単位を超える広い面内測定範囲 ・高さ分解能0.01nm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFMによるステップ-テラス構造の可視化
ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板表面のステップ-テラスの構造を可視化し、テラス幅、ステップ高さ、表面粗さ、オフ角を評価した事例を紹介します。 測定法：AFM 製品分野：パワーデバイス、 電子部品、 照明 分析目的：形状評価、 構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
