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微小プローブによる高分解能でのイメージング！ナノレベルの構造解析を実現いたします
当社では、試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの 構造解析を実現いたします。 「形状測定（タッピングモード）」では、周期的に振動させた プローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測。 また、「位相イメージング」は、カンチレバーを動かす周期信号と カンチレバーの振動との間の位相遅れをマッピングし、形状には 現れない物性の違いを可視化します。 【特長】 ■微小プローブによる高分解能でのイメージング ■導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能 ■微小な触圧によりほぼ非破壊で測定できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより 基板を移動させることがありません ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので 非線形クリープ、経年変化はありません ・ダメージレスで非破壊で測定可能 ・AFM用カーボンナノプローブ（高分解能・長寿命） 【ソフトアプリケーション】 ・微細線幅測定 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 ・石英ガラス表面検査 ・マスクパターン測定 ・研磨、CMP後の表面検査評価 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察 ・フィルム表面検査 ・高精度金型の表面解析 ・光学部品、精密部品の評価
