立体物対応実験用プラズマCVD装置
対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等!基板加熱機構付き(最高設定温度:500℃)
当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。 立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギングが可能です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種:DLC、アモルファスSiC等 ■基板加熱機構付き(最高設定温度:500℃) ■PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社DINOVAC
- 価格:応相談